光学系统检测

检测项目

1.波前误差：测量λ/10~λ/20RMS值（@632.8nm），PV值≤λ/4

2.调制传递函数（MTF）：空间频率20-200lp/mm范围内对比度≥0.6

3.透射波前畸变：全口径≤0.25λ（PV值），局部梯度≤0.05λ/mm

4.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超光滑表面），Rq≤1nm

5.焦距偏差：实测值与标称值误差≤0.1%

6.像面照度均匀性：全视场≥95%

7.杂散光抑制比：主光强与杂散光比值≥10^4:1

检测范围

1.光学玻璃材料：包括H-K9L、ZF52等牌号的折射率均匀性（Δn≤210^-6）

2.非球面透镜：最大偏离量≤0.5μm（口径Φ300mm以内）

3.红外光学系统：3-5μm/8-12μm波段透过率≥90%

4.镀膜元件：增透膜剩余反射率≤0.2%@设计波长

5.光纤耦合器件：耦合效率≥85%（单模光纤）

6.投影光刻物镜：波像差≤1nmRMS（193nm曝光波长）

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评价方法

2.ISO14999-4:2015光学干涉仪测量波前误差规范

3.GB/T12085.14-2022光学系统环境试验方法（高低温循环）

4.ASTME903-20材料光谱透射比测量标准

5.GB/T7661-2009光学零件气泡度检验规程

6.ISO9334:2019光学传递函数测量导则

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000RMS

2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：分辨率0.1μm/pixel

3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

4.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm

5.OptikosLensCheck系列焦距仪：测量精度0.01mm

6.OphirSpiriconM2-200s光束质量分析仪：M因子测量误差≤3%

7.NewportAutoAlign激光准直系统：角度对准精度1μrad

8.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量范围0-40dB

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"光学系统检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。