检测项目
1.波前误差：测量λ/10~λ/20RMS值（@632.8nm），PV值≤λ/4
2.调制传递函数（MTF）：空间频率20-200lp/mm范围内对比度≥0.6
3.透射波前畸变：全口径≤0.25λ（PV值），局部梯度≤0.05λ/mm
4.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超光滑表面），Rq≤1nm
5.焦距偏差：实测值与标称值误差≤0.1%
6.像面照度均匀性：全视场≥95%
7.杂散光抑制比：主光强与杂散光比值≥10^4:1
检测范围
1.光学玻璃材料：包括H-K9L、ZF52等牌号的折射率均匀性（Δn≤210^-6）
2.非球面透镜：最大偏离量≤0.5μm（口径Φ300mm以内）
3.红外光学系统：3-5μm/8-12μm波段透过率≥90%
4.镀膜元件：增透膜剩余反射率≤0.2%@设计波长
5.光纤耦合器件：耦合效率≥85%（单模光纤）
6.投影光刻物镜：波像差≤1nmRMS（193nm曝光波长）
检测方法
1.ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评价方法
2.ISO14999-4:2015光学干涉仪测量波前误差规范
3.GB/T12085.14-2022光学系统环境试验方法（高低温循环）
4.ASTME903-20材料光谱透射比测量标准
5.GB/T7661-2009光学零件气泡度检验规程
6.ISO9334:2019光学传递函数测量导则
检测设备
1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000RMS
2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：分辨率0.1μm/pixel
3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
4.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm
5.OptikosLensCheck系列焦距仪：测量精度0.01mm
6.OphirSpiriconM2-200s光束质量分析仪：M因子测量误差≤3%
7.NewportAutoAlign激光准直系统：角度对准精度1μrad
8.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量范围0-40dB