检测项目

表面粗糙度Ra值（0.025-25μm）；波纹度Wz参数（0.1-10mm）；轮廓最大高度Rz（0.05-100μm）；轮廓单元平均宽度RSm（0.002-25mm）；表面支承率Rmr(c)（15-85%）；三维表面参数Sa（0.1-50μm）；沟槽深度Rt（1-200μm）

检测范围

金属材料：铝合金轧制件/不锈钢精密铸件/钛合金机加工件；高分子材料：工程塑料注塑件/橡胶密封件；陶瓷材料：氧化锆结构陶瓷/氮化硅轴承球；复合材料：碳纤维增强环氧树脂板/金属基复合材料；光学元件：光学玻璃透镜/蓝宝石窗口片

检测方法

触针式轮廓法（ASTMD7127/GB/T3505）；非接触式激光干涉法（ISO25178/GB/T19600）；白光共聚焦显微术（ISO25178-6）；原子力显微镜法（GB/T31227）；比较样块目视法（GB/T6060.2）；三维形貌重建法（ASMEB46.1）

检测设备

TaylorHobsonFormTalysurfi系列（三维形貌分析/0.8nm分辨率）；MitutoyoSJ-410（二维粗糙度测量/16nm精度）；BrukerContourGT-X8（白光干涉仪/0.01nm垂直分辨率）；ZeissSurfcom5000（自动轮廓仪/0.6μm测针半径）；OlympusLEXTOLS5000（激光共聚焦显微镜/10nmZ轴分辨率）；KeyenceVK-X3000（3D表面分析系统/1nm级重复性）；HommelwerkeT8000（多功能粗糙度仪/JISB0659认证）；NanoFocusμsurfMobile（便携式三维测量/0.5%线性精度）；AEPTechnologyXC-100（超精密接触式测量/0.05μmRa量程）；PanasonicHG-C1100（在线激光检测系统/100ms高速采样）