检测项目

1.磷烷浓度检测：测量范围0.1ppm-10000ppm，分辨率0.01ppm（气相色谱法）

2.气体纯度分析：纯度等级99.999%-99.9999%（电子级标准）

3.杂质气体测定：O₂≤0.5ppm、H₂O≤1ppm、CO₂≤2ppm（半导体工艺要求）

4.爆炸极限测试：爆炸下限1.8%VOL（18,000ppm），上限98%VOL

5.残留量检测：工艺腔体残留≤0.05ppm（半导体制造标准）

检测范围

1.半导体材料：硅片外延生长用磷烷掺杂气体

2.电子特气：高纯磷烷（6N级）品质验证

3.工业气体：储气钢瓶/管道输送系统安全性检测

4.医药中间体：磷化铝制剂分解产物监测

5.环保监测：污水处理厂/粮仓熏蒸作业环境监测

检测方法

ASTMD6350-14《气相色谱法测定特种气体中杂质》

ISO6145-7:2009《气体分析动态体积法》

GB/T28727-2012《气体分析硫化氢、磷化氢测定》

GB12358-2006《作业场所空气中有毒物质监测》

EPAMethodTO-15《罐采样气相色谱质谱联用法》

检测设备

Agilent7890B气相色谱仪：配备FPD/PID双检测器，检出限0.01ppm

SiemensUltramat23红外分析仪：PH₃特征吸收峰（1070cm⁻）定量分析

RAESystemsppbRAE3000电化学传感器：量程0-5000ppb，响应时间＜30s

ThermoScientific46i-TLE痕量气体分析仪：激光光谱技术，精度1%FS

INFICONHAPSITEER便携式GC-MS：现场快速筛查，质量范围1-300amu

SICKGMS810在线监测系统：24小时连续测量，4-20mA信号输出

Entech4600A罐采样系统：不锈钢硅烷化罐体，保压时间＞30天

MKSMultiGas™2030傅里叶红外分析仪：多组分同步检测（PH₃+12种杂质）

DragerX-am8000多气体探测器：ATEX认证防爆型，IP67防护等级

SRI8610C定制色谱系统：PLOTQ色谱柱（30m0.32mm20μm）