检测项目
1.导通电压(VF):测量范围0.5-10V@1mA-10A
2.反向击穿电压(VBR):测试阈值100V-50kV@漏电流≤1μA
3.动态电阻(Rd):分辨率0.1mΩ@DC-1MHz
4.漏电流(IL):灵敏度1pA@反向偏压200V
5.温度系数(αV):温控范围-65℃~+300℃0.5℃
6.电容-电压特性(C-V):频率范围1kHz-10MHz@20V偏置
检测范围
1.半导体材料:硅基芯片/碳化硅晶圆/GaN外延片
2.绝缘介质:陶瓷基板/聚酰亚胺薄膜/玻璃釉涂层
3.分立器件:肖特基二极管/IGBT模块/MOSFET晶体管
4.储能系统:锂离子电池组/超级电容器/燃料电池堆
5.导电材料:铜箔载流能力/银浆接触电阻/石墨烯薄膜迁移率
检测方法
ASTMF1241-22:半导体接触电阻四探针法
ISO16750-2:2023:汽车电子部件环境应力测试规范
GB/T4023-2015:半导体器件反向阻断三极晶体管测试方法
IEC62660-3:2022:动力电池循环寿命IV特性评估规程
JESD22-A115F:电子器件静电放电敏感度分级测试
GB/T1408.1-2016:绝缘材料电气强度试验方法
检测设备
KeysightB1505A功率器件分析仪:200A/3kV脉冲IV测试能力
TektronixKeithley2450源表:1μV/10fA基础分辨率
Chroma17011电池测试系统:1200V/400A动力电池IV扫描
AgilentE4980ALLCR表:20Hz-2MHz宽频阻抗分析
ESPECTSE-11环境箱:温变速率15℃/min的IV-T特性测试平台
HIOKIIM3590化学阻抗分析仪:10μΩ~100MΩ宽量程测量
FlukeTi401PRO热像仪:μ级热点定位与热分布分析
CascadeSummit12000探针台:12英寸晶圆级参数提取系统
HPPC模拟器:符合GB/T31486标准的动力电池脉冲特性测试模块