检测项目
1.光谱透过率:波长范围200-2500nm,分辨率≤1nm;
2.表面反射率:入射角0-60,测量精度0.5%;
3.波长精度校准:偏差≤0.2nm(可见光波段);
4.偏振相关损耗(PDL):测试范围0-40dB;
5.膜层均匀性:面内偏差≤1.5%(@633nm)。
检测范围
1.光学薄膜:包括增透膜、分光膜、高反膜等镀层产品;
2.激光系统组件:如激光腔镜、棱镜及波片;
3.光纤通信器件:DWDM滤波器、光纤耦合器;
4.显示面板材料:偏光片、液晶相位延迟膜;
5.光伏组件:抗反射涂层与透明导电膜。
检测方法
1.ASTME903-20:基于积分球法的光谱透射率测试;
2.ISO13697:2019:激光诱导损伤阈值与反射率测量;
3.GB/T14583-2006:光学薄膜环境适应性测试规程;
4.ISO14707:2015:辉光放电光谱表面成分分析;
5.GB/T26331-2010:光学元件偏振特性测试方法。
检测设备
1.PerkinElmerLambda1050+UV-Vis-NIR分光光度计:支持190-3300nm全波段扫描;
2.AgilentCary7000全能型分光椭偏仪:用于纳米级膜厚与光学常数测定;
3.OceanInsightHR4Pro光谱仪:高分辨率(0.1nm)光纤耦合系统;
4.ShimadzuISR-2600积分球附件:直径150mm,适用漫反射/透射分析;
5.HoribaJobinYvoniHR550成像光谱仪:配备CCD阵列探测器;
6.ZygoVerifireMST激光干涉仪:面形精度λ/20@632.8nm;
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1;
8.NewportOrielCS260B单色仪:波长重复性0.05nm;
9.ThorlabsPAX1000偏振分析仪:支持1550nm通信波段PDL测试;
10.KeysightN7788B光波元件分析仪:集成TDLAS可调谐激光光源。