检测项目

1.线性运动精度检测：测量轴向位移误差≤2μm/m

2.重复定位精度验证：XYZ三轴重复性误差≤1.5μm

3.温度稳定性测试：-20℃~+60℃工况下位移漂移量≤0.5μm/℃

4.动态响应特性分析：最大加速度5m/s时的轨迹偏差≤15μm

5.负载形变补偿测试：额定载荷200kg下的挠度变形量≤30μm

检测范围

1.高精度直线导轨与滚珠丝杠传动系统

2.工业机器人末端执行器定位系统

3.光刻机晶圆台双工件台系统

4.医疗CT机滑环旋转定位机构

5.航空航天用伺服作动器行程机构

检测方法

1.ISO230-2:2014机床检验规范-第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度确定

2.GB/T17421.2-2016机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定

3.ASTME2309-05(2015)用激光跟踪仪测量工业机器人位姿特性的标准试验方法

4.ISO9283:2021工业机器人性能规范及其测试方法

5.GB/T26195-2010工业机器人性能测试方法

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm，最大测量距离80m

2.LeicaAT960绝对跟踪仪：空间坐标测量精度15μm+6μm/m

3.KEYENCELK-G5000激光位移计：采样频率392kHz，分辨率0.02μm

4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度28μm

5.APIXDLaser六维激光测量系统：同时测量6自由度参数

6.MitutoyoLH-600电子水平仪：角度分辨率0.1"，量程1000"

7.SIOSSP-2000平面度干涉仪：平面度测量精度λ/100(6nm)

8.OGPSmartScopeFlash500多传感器测量机：XYZ精度(2.5+L/100)μm

9.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：振动分辨率0.02μm/s

10.FAROVantageS6激光跟踪仪：绝对测距精度10μm+0.8μm/m