检测项目
1.折射率均匀性:测量波长632.8nm下折射率偏差≤210⁻⁵
2.表面面形精度:PV值≤λ/4(λ=632.8nm),RMS≤λ/20
3.角度公差:直角棱镜903",五角棱镜455"
4.镀膜透过率:AR膜在400-700nm波段平均透过率≥99.2%
5.环境稳定性:温度循环(-40℃~+85℃)后面形变化≤λ/10
检测范围
1.BK7/K9光学玻璃棱镜:用于激光准直系统与光谱仪核心组件
2.氟化钙/氟化镁晶体棱镜:适用于紫外波段光学仪器
3.熔融石英棱镜:高功率激光系统的耐高温元件
4.聚合物棱镜(PMMA/PC):轻量化成像设备用非球面棱镜
5.复合镀膜棱镜:含多层介质膜/金属膜的偏振分光棱镜
检测方法
1.ASTME1967-19:采用最小偏向角法测定折射率均匀性
2.ISO10110-5:2015:激光干涉法评估表面面形误差
3.GB/T7661-2009:使用精密测角仪进行角度公差验证
4.ISO9211-4:2012:分光光度计测量镀膜光谱特性曲线
5.GB/T12085.4-2010:高低温试验箱执行环境应力测试
检测设备
1.ZygoVerifireMST激光干涉仪:波长632.8nm,面形测量精度λ/100
2.TriopticsOptiAngleUA200测角仪:角度分辨率0.1",重复精度0.5"
3.ShimadzuUV-3600Plus分光光度计:光谱范围185-3300nm,带宽0.1nm
4.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS坐标测量机:空间精度(1.9+L/250)μm
5.ThermoScientificTSX系列高低温箱:温控范围-70℃~+180℃
6.PrismMaster™折射率分析系统:测量精度510⁻⁶@632.8nm
7.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,扫描速度50μm/s
8.Agilent8700LD激光二极管测试系统:功率稳定性0.5%
9.OlympusMX63金相显微镜:5000倍放大观察表面微缺陷
10.KeysightN5227A网络分析仪:10MHz-67GHz频段镀膜特性分析