检测项目
1.透光率:波长范围300-2500nm,测量精度0.5%,依据JISK7105标准
2.折射率:测试波长589.3nm(钠D线),温度控制0.1℃,符合ISO489:2022要求
3.热膨胀系数:温度范围20-500℃,升温速率5℃/min,参照GB/T16535-2008
4.显微硬度:维氏硬度HV0.5载荷测试,压痕对角线测量精度0.1μm
5.抗弯强度:三点弯曲法测试跨度30mm,加载速率0.5mm/min
6.表面粗糙度:Ra值测量范围0.01-10μm,符合ISO4287:1997规范
7.晶相组成:XRD分析角度范围10-80,步长0.02,CuKα辐射
检测范围
1.高精度光学器件基板材料
2.紫外光刻用光掩模基板
3.激光器窗口保护材料
4.半导体设备观察窗组件
5.高温环境用耐热观察窗
6.微电子封装透明基板
7.航天器舷窗复合层材料
检测方法
1.ASTMD1003-21:透明塑料透光率和雾度标准测试方法
2.ISO14782:2022:塑料-透明材料雾度测定
3.GB/T2410-2008:透明塑料透光率和雾度试验方法
4.ISO11359-2:2021:塑料-热机械分析(TMA)-第2部分:线性热膨胀系数测定
5.GB/T4340.1-2009:金属材料维氏硬度试验第1部分:试验方法
6.ISO178:2019:塑料-弯曲性能测定
7.JISB0651-2001:表面粗糙度测定器通则
检测设备
1.PerkinElmerLambda950紫外可见近红外分光光度计:波长范围175-3300nm,积分球直径150mm
2.NETZSCHDIL402ExpedisSupreme热膨胀仪:温度范围-160℃~1550℃,分辨率0.05nm
3.WilsonWolpertTukon2100B显微硬度计:载荷范围10gf-3kgf,光学系统放大倍数500X
4.Instron5967万能材料试验机:最大载荷30kN,横梁速度0.001-1000mm/min
5.OlympusBX53M金相显微镜:最大放大倍数1500X,配备微分干涉对比(DIC)功能
6.ZygoVerifireMST激光干涉仪:波长632.8nm,面形精度λ/100RMS
7.BrukerD8AdvanceX射线衍射仪:测角仪精度0.0001,配备LynxEye阵列探测器
8.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:扫描范围90μm90μm10μm,分辨率0.1nm
9.ThermoScientificNicoletiS50FTIR红外光谱仪:光谱范围7800-350cm⁻,DTGS检测器
10.HitachiSU5000场发射扫描电镜:分辨率1.0nm@15kV,加速电压0.5-30kV连续可调