检测项目

1.电子束流稳定性：测量连续工作模式下束流波动范围（0.5%以内），采样频率≥1kHz

2.加速电压精度：验证标称电压（1-30kV）偏差值≤0.1%，纹波系数＜0.05%

3.束斑直径一致性：采用铂铱合金标样测试束斑直径偏差（≤0.1μm@10kV）

4.能量分散度：通过半球形分析器测定能量半高宽（FWHM≤0.8eV）

5.真空兼容性：评估电子枪在10^-5-10^-7Pa真空度下的工作稳定性

检测范围

1.半导体晶圆表面掺杂层分析（Si/SiC/GaN基材料）

2.透射电镜（TEM）用场发射电子枪组件

3.金属薄膜镀层厚度测量样品（Au/Pt/Cu靶材）

4.电子束光刻系统核心模块

5.陶瓷基板微结构表征试样（Al₂O₃/AlN/ZrO₂）

检测方法

ASTME2735-2014《电子束均匀性测试标准规程》规定束流密度分布测量方法

ISO16700:2016《微束分析-扫描电镜-校准图像放大指南》用于束斑尺寸标定

GB/T23414-2009《微束分析术语》定义能量分散度计算模型

IEC61340-4-7:2017《静电学-第4-7部分》规范高压绝缘性能测试流程

SJ/T11858-2022《电子光学仪器用电子枪通用规范》规定环境适应性试验条件

检测设备

1.Keithley2636B源表：双通道高精度电流/电压测量（分辨率0.1fA）

2.ThermoFisherScientificApreo2SEM：配备BeamDeceleration模式（分辨率0.6nm@1kV）

3.OxfordInstrumentsX-MaxN80EDS探测器：能量分辨率≤127eV（MnKα线）

4.Agilent33522B函数发生器：输出频率范围1μHz-30MHz（波形失真＜0.04%）

5.PfeifferHIPACE700分子泵组：极限真空度510^-8mbar（抽速700L/s）

6.HamamatsuF2281Faraday杯：电流测量范围10pA-20mA（线性度0.05%）

7.BrukerDimensionIconAFM：扫描精度0.1nmZ轴分辨率（ScanAsyst模式）

8.KeysightN6705C直流电源分析仪：四象限输出（电压精度0.025%）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与非偏压电子枪检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。