检测项目
1.人体模型放电（HBM）：测试电压范围100V-30kV，接触放电/空气放电模式切换
2.机器模型放电（MM）：200V-8kV脉冲测试，上升时间≤1ns
3.充电器件模型（CDM）：500V-1kV瞬态放电测试
4.系统级ESD抗扰度：依据IEC61000-4-2标准进行2kV-15kV分级测试
5.表面电阻率测量：10^3-10^12Ω/sq量程覆盖导电/绝缘材料
检测范围
1.微电子器件：集成电路芯片、晶圆级封装产品
2.汽车电子模块：ECU控制单元、车载传感器
3.医疗设备：心脏起搏器、医用监护仪内部电路
4.工业控制设备：PLC控制器、HMI人机界面
5.防护材料：防静电地板、ESD包装薄膜
检测方法
1.IEC61000-4-2:2018规定接触放电4kV/8kV/15kV三级测试程序
2.ANSI/ESDSTM5.1-2016用于HBM敏感度分级测试
3.ISO10605:2008汽车电子模块ESD测试规范
4.GB/T17626.2-2018电磁兼容试验第2部分：静电放电抗扰度试验
5.JESD22-A115F半导体器件CDM测试方法
检测设备
1.EMTESTDito5201静电放电模拟器：支持30kV高压输出及波形验证功能
2.ThermoKeyTekESDProXT：符合IEC/EN61000-4-2全参数测试系统
3.Chroma19053静电发生器：具备HBM/MM/CDM三模式切换能力
4.Trek152-1高压电源：0-20kV连续可调直流电源系统
5.MitsubishiPV-3表面电阻测试仪：10^3-10^12Ω四探针法测量装置
6.OphirPD300脉冲功率计：100ps上升时间脉冲波形分析模块
7.KeysightInfiniiVisionDSOX1204A示波器：200MHz带宽波形采集系统
8.Desco19270静电场强计：0-200kV/m场强测量精度5%
9.SimcoFMX-003离子平衡测试仪：35V内离子平衡度测量装置
10.TeseqNSG438耦合板：150kHz-1GHz辐射场校准参考平台