检测项目

1. 气体浓度：测量HF₂体积分数（0.1ppm-100%），精度±0.5%FS

2. 纯度分析：主成分含量≥99.9%，杂质总量≤0.1%

3. 水分含量：卡尔费休法测定H₂O≤50ppm

4. 氟化物杂质：F⁻离子≤10ppm（IC法）

5. 酸度值：pH值范围1.5-3.0（25℃水溶液）

检测范围

1. 电子级高纯HF₂气体（半导体蚀刻工艺）

2. 金属表面处理剂（铝材钝化液）

3. 含氟聚合物原料（PTFE生产中间体）

4. 医药中间体（抗肿瘤药物合成原料）

5. 工业废气排放物（化工生产尾气监测）

检测方法

1. ASTM E260-96(2021)：气相色谱法测定挥发性氟化物

2. ISO 21438-1:2007：离子色谱法测定无机酸性气体

3. GB/T 14605-2020：红外光谱法气体定量分析

4. GB 12373-1990：工业废气中氟化物监测技术规范

5. ISO 12988-1:2019：高温水解-离子选择电极法总氟测定

检测设备

1. Agilent 7890B气相色谱仪：配备FPD检测器，检出限0.01ppm

2. Thermo Scientific ICS-6000离子色谱仪：Dionex IonPac AS19色谱柱

3. HORIBA VA-5000傅里叶红外分析仪：HF₂特征峰1280cm⁻¹定量

4. Metrohm 917 Coulometer：库仑法微量水分测定（0.1μg H₂O）

5. Mettler Toledo SevenExcellence pH计：耐氢氟酸玻璃电极

6. Shimadzu EDX-8000 X荧光光谱仪：固体样品总氟分析

7. Bruker ALPHA II FTIR光谱仪：原位反应过程监测

8. PerkinElmer NexION 350D ICP-MS：痕量金属杂质检测（ppb级）

9. DKK-TOA IM-32P离子计：氟离子选择性电极现场快速检测

10. INFICON HAPSITE ER便携式GC/MS：应急泄漏检测（PID检测器）