检测项目

1. 泄漏率检测：测量范围1×10^-6 Pa·m³/s至1×10^-3 Pa·m³/s（ASTM E493）

2. 压力稳定性测试：监测10^-3 Pa至10^-1 Pa区间压力波动（ISO 3570）

3. 气体成分分析：识别H₂O、O₂、N₂等残留气体浓度（GB/T 31480）

4. 真空度维持时间：记录系统从10^-2 Pa升至10^1 Pa所需时长（GB/T 3163）

5. 密封材料渗透率：评估橡胶/金属密封件的气体渗透系数（ISO 15105-1）

检测范围

1. 金属密封件：法兰接头、真空阀门组件

2. 高分子材料薄膜：聚酰亚胺真空袋、氟橡胶密封圈

3. 真空电子器件：X射线管、光电倍增管

4. 半导体封装材料：晶圆级封装腔体、MEMS器件

5. 真空镀膜设备组件：磁控溅射靶材室、蒸镀腔体

检测方法

1. ASTM E493-22：质谱分析法测定系统总泄漏率

2. ISO 3570:2020：静态升压法评估真空系统密封性

3. GB/T 31480-2015：四极杆质谱仪定量分析残余气体

4. GB/T 3163-2007：差压法测量真空容器压力维持能力

5. ISO 15105-1:2021：恒压法测定聚合物薄膜透气系数

检测设备

1. Agilent Technologies MSD 5977B：四极杆质谱仪（气体成分分析）

2. INFICON UL1000 Fab：氦质谱检漏仪（灵敏度1×10^-12 Pa·m³/s）

3. Leybold PHOENIX L300i：涡轮分子泵组（极限真空5×10^-7 Pa）

4. MKS Instruments 925B：电容薄膜规（量程0.1 Pa至133 kPa）

5. Pfeiffer Vacuum HPT 200：热阴极电离规（测量下限1×10^-8 Pa）

6. Edwards TIC-301：冷阴极电离计（快速响应压力监测）

7. VACUU-BRAND DVR 5：数字式真空计（多通道数据采集）

8. Canon ANELVA MRH-2000：残余气体分析系统（全量程气体识别）

9. Shimadzu GC-2030：气相色谱仪（痕量气体分离检测）

10. Kurt J. Lesker KJLC 360i：复合真空校准系统（动态流量法校准）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与低真空检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。