检测项目
1. 极限真空度测试：测量泵体在稳定工况下的最低压力值（≤1×10-2 Pa）
2. 抽气速率验证：在10-1 Pa至103 Pa压力范围内测定气体流量（m³/h）
3. 泄漏率检测：采用氦质谱法测定系统漏率（≤1×10-9 Pa·m³/s）
4. 温升试验：连续运行8小时监测轴承温度（≤85℃）及壳体温差（ΔT≤15℃）
5. 振动分析：三轴加速度传感器测量振动速度有效值（≤4.5 mm/s）
检测范围
1. 工业级油润滑定片真空泵（工作压力10-3-105 Pa）
2. 实验室用无油干式定片泵（洁净度等级ISO 8573-1 Class 0）
3. 医疗设备配套微型真空泵（流量范围0.5-5 L/min）
4. 铝合金泵体组件（壁厚≥6mm）与铸铁转子部件
5. 高分子密封材料（耐温-40℃至200℃）
检测方法
1. ISO 21360-1:2012《真空技术-容积真空泵性能测量方法》
2. ASTM E2931-13《真空系统泄漏测试标准指南》
3. GB/T 13931-2017《容积真空泵性能测试方法》
4. GB/T 13384-2008《机电产品包装通用技术条件》振动试验
5. ISO 8573-8:2004《压缩空气油蒸气含量测试》
检测设备
1. Agilent UHV-24复合真空计（量程10-7-105 Pa）
2. INFICON ELT3000氦质谱检漏仪（灵敏度5×10-12 Pa·m³/s）
3. Fluke 2680A数据采集系统（32通道热电偶输入）
4. Brüel & Kjær 2250声级计（频率范围6Hz-20kHz）
5. OMRON ZX-T激光位移传感器（精度±0.1% FS）
6. Kistler 8766A三轴加速度计（量程±500g）
7. AMETEK JOFRA RTC-700温控校验炉（-45℃~300℃）
8. Malvern Mastersizer 3000粒度分析仪（0.01-3500μm）
9. Shimadzu AGX-V电子万能试验机（载荷50kN）
10. PerkinElmer DSC8500差示扫描量热仪（温度精度±0.1℃）