检测项目

1. 空间频率分辨率:测量范围为10-200 lp/mm(线对/毫米),精度±0.5%

2. 调制传递函数(MTF):测试频率范围0-150 cycles/mm,对比度阈值0.01-1.0

3. 斯特列尔比(SR):测量精度±0.02@λ=632.8nm

4. 点扩散函数(PSF):采样密度2048×2048像素,动态范围>60dB

5. 波前像差:Zernike系数分析至36项,RMS重复性≤0.005λ

检测范围

1. 光学玻璃基材:包括熔融石英、BK7等折射率1.45-1.89的透明介质

2. 光学薄膜涂层:AR膜、分光膜等厚度50nm-10μm的镀层结构

3. 成像镜头模组:焦距5mm-2000mm的相机/望远镜物镜

4. 显示面板组件:LCD/OLED像素密度300-2000PPI的显示屏

5. 光电传感器件:CMOS/CCD像元尺寸0.5-10μm的成像芯片

检测方法

ASTM E1951-14《光学系统分辨率测试标准方法》

ISO 12233:2017《摄影-电子静像画面-分辨力测量》

GB/T 9247-2008《光学系统术语及定义》

ISO 9334:2012《光学传递函数测量原理》

GB/T 26331-2010《光学系统波像差检测方法》

检测设备

Trioptics ImageMaster HR:MTF测量精度±1%,最大支持Φ300mm被测件

ZYGO Verifire MST:干涉仪波长632.8nm,PV重复性λ/1000

Optikos LensCheck:焦距测量范围5-2000mm,角分辨率0.1arcmin

Radiant ProMetric Y22:2200万像素成像色度计,12bit ADC精度

Edmund Optics MTF测试台:配置1951 USAF分辨率板,兼容ISO12233标准

Hamamatsu C13340-20CU:背照式CMOS传感器,量子效率95%@500nm

4D Technology PhaseCam 6000:动态干涉仪采样率1MHz@1024×1024像素

OLYMPUS STM7测量显微镜:物镜NA0.95,XYZ平台定位精度±0.1μm

Bentham TMC300单色仪:光谱范围200-2500nm,带宽0.05nm@FWHM

Newport M-UTM150微型位移台:行程150mm,分辨率10nm闭环控制