检测项目

1. 纯度测定：采用气相色谱法（GC）测定主成分含量≥99.99%，允许偏差±0.02%

2. 水分含量：卡尔费休法测定H₂O≤10 ppm（质量分数）

3. 金属杂质：ICP-MS测定Fe、Ni、Cu等痕量元素≤1 ppm

4. 氟化物残留：离子色谱法测定游离F⁻≤50 ppm

5. 气体成分分析：四极杆质谱仪测定O₂≤5 ppm、N₂≤10 ppm

检测范围

1. 电子级六氟化铼：用于半导体蚀刻工艺的ReF₆纯度≥6N级

2. 核工业用ReF₆：中子吸收材料中Re同位素丰度比（¹⁸⁷Re/¹⁸⁵Re≥62.6%）

3. CVD沉积前驱体：化学气相沉积用ReF₆颗粒度≤0.5 μm

4. 高纯试剂：分析级ReF₆酸度（以HF计）≤0.1%

5. 催化剂前驱体：负载型ReF₆载体吸附率≥98%

检测方法

ASTM C1469-10(2018)：六氟化物气体成分质谱分析法

ISO 17034:2016：标准物质生产中的痕量杂质控制规范

GB/T 23942-2009：无机化工产品中杂质测定通则

GB/T 37249-2018：电子工业用高纯六氟化铼技术规范

ISO 21587-3:2007：电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-OES）

检测设备

Agilent 7890B/5977B GC-MS联用仪：用于纯度分析与挥发性杂质检测

Thermo Scientific iCAP RQ ICP-MS：金属元素检出限达0.01 ppb

METTLER TOLEDO C30S卡尔费休水分仪：分辨率0.1 μg H₂O

PerkinElmer Optima 8300 ICP-OES：波长范围165-1100 nm

Shimadzu GC-2030气相色谱仪：配备FPD检测器（硫磷模式）

Thermo Fisher iCAP PRO XPP ICP-OES：轴向观测模式提高灵敏度

METTLER TOLEDO XPR6U微量天平：称量精度0.001 mg

Anton Paar DMA 4200M密度计：测量精度±0.0001 g/cm³

Agilent 490 Micro GC：微型气相色谱用于在线气体监测