检测项目
1.极限真空度：测量泵在稳定运行状态下达到的最低压力值（≤110⁻Pa）
2.抽气速率：测试单位时间内气体排出量（10~500m/h）
3.泄漏率：采用氦质谱法检测密封系统漏率（≤110⁻⁹Pam/s）
4.运行温度：监测连续工作8小时壳体温度变化（-20℃~150℃）
5.噪音水平：按GB/T29529标准测试1米距离声压级（≤75dB(A)）
检测范围
1.无油干式螺杆真空泵
2.爪式干式真空泵
3.涡旋式干式真空泵
4.陶瓷密封真空泵
5.金属波纹管密封系统
检测方法
1.ASTMF27-20《真空泵性能测试规程》
2.ISO21360:2018《真空技术-容积真空泵性能测量方法》
3.GB/T19956.1-2022《容积真空泵性能测量方法》
4.ISO1608-1:2020《蒸气喷射真空泵试验方法》
5.GB/T3163-2023《真空技术术语》
检测设备
1.AgilentUHV-24复合真空计（量程10⁵~10⁻⁷Pa）
2.LeyboldDIVAC0.1气体微流量校准仪
3.INFICONELT3000氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻Pam/s）
4.Keysight34972A多通道温度记录仪（0.1℃精度）
5.Bruel&Kjaer2250声级计（频率范围6Hz~20kHz）
6.PfeifferASM340检漏模块组
7.EdwardsXDS35i干式涡旋泵测试平台
8.MKS925型高精度压力传感器
9.Fluke754过程校准仪
10.ShimadzuLC-20AD液压脉冲试验机