检测项目

1.极限真空度：测量泵在稳定运行状态下达到的最低压力值（≤110⁻Pa）

2.抽气速率：测试单位时间内气体排出量（10~500m/h）

3.泄漏率：采用氦质谱法检测密封系统漏率（≤110⁻⁹Pam/s）

4.运行温度：监测连续工作8小时壳体温度变化（-20℃~150℃）

5.噪音水平：按GB/T29529标准测试1米距离声压级（≤75dB(A)）

检测范围

1.无油干式螺杆真空泵

2.爪式干式真空泵

3.涡旋式干式真空泵

4.陶瓷密封真空泵

5.金属波纹管密封系统

检测方法

1.ASTMF27-20《真空泵性能测试规程》

2.ISO21360:2018《真空技术-容积真空泵性能测量方法》

3.GB/T19956.1-2022《容积真空泵性能测量方法》

4.ISO1608-1:2020《蒸气喷射真空泵试验方法》

5.GB/T3163-2023《真空技术术语》

检测设备

1.AgilentUHV-24复合真空计（量程10⁵~10⁻⁷Pa）

2.LeyboldDIVAC0.1气体微流量校准仪

3.INFICONELT3000氦质谱检漏仪（灵敏度510⁻Pam/s）

4.Keysight34972A多通道温度记录仪（0.1℃精度）

5.Bruel&Kjaer2250声级计（频率范围6Hz~20kHz）

6.PfeifferASM340检漏模块组

7.EdwardsXDS35i干式涡旋泵测试平台

8.MKS925型高精度压力传感器

9.Fluke754过程校准仪

10.ShimadzuLC-20AD液压脉冲试验机