检测项目
1.离子浓度测定：测量范围110-110⁹ions/cm，分辨率5%
2.迁移率分析：覆盖0.8-3.0cm/(Vs)区间
3.电荷分布均匀性：空间分辨率达0.1mm
4.复合系数测定：时间分辨率10μs
5.电场响应特性：测试电压0-30kV可调
检测范围
1.半导体晶圆表面处理层
2.高分子聚合物绝缘材料
3.生物医药包装薄膜
4.航空航天复合材料
5.微电子器件封装基材
检测方法
ASTMF1154-22《电离层迁移率测试规程》
ISO21362:2020《纳米技术-气溶胶电离特性表征》
GB/T25000.51-2016《系统与软件工程测试规范》
GB/T17626.2-2018《电磁兼容试验技术》
IEC62305-4:2021《雷电防护系统测试要求》
检测设备
1.ThermoScientificAPCI7000：高精度离子浓度分析仪
2.Agilent6545Q-TOF：四级杆飞行时间质谱系统
3.KeysightB1505A：功率器件分析仪（支持30kV高压测试）
4.TSI3088：静电分级迁移率粒径谱仪
5.BrukerEM27/10：傅里叶变换离子回旋共振仪
6.ShimadzuLCMS-9050：超高效液相色谱质谱联用仪
7.HORIBAAP-370：气溶胶粒径分析系统
8.MalvernPanalyticalZetasizerUltra：动态光散射分析仪
9.PerkinElmerNexION5000：多模式等离子体质谱仪
10.MettlerToledoXPR205：微量天平（精度0.01μg）