检测项目
1.氧含量测定：采用电化学传感器法，测量范围0-100ppm，精度0.5%FS
2.露点温度监测：使用冷镜式露点仪，量程-80℃至+20℃，分辨率0.1℃
3.氮气纯度分析：通过气相色谱法测定N₂纯度≥99.9995%
4.氩气中H₂O含量：红外光谱法检测限值≤3ppm(v/v)
5.CO₂残留量测试：非分散红外技术（NDIR），灵敏度0.1ppm
检测范围
1.锂电池电极材料烧结环境
2.高温合金真空热处理炉
3.半导体芯片封装保护气体
4.核燃料棒氩气保护系统
5.OLED蒸镀工艺腔体气氛
检测方法
国际标准：ASTMB798-90(2021)氧含量测定法、ISO8573-2:2018压缩空气露点测试
国家标准：GB/T25915.4-2021洁净室氦质谱检漏规范、GB50457-2019医药工业洁净厂房设计标准
检测设备
1.ThermoScientificMAX300-IG在线氧分析仪（0-1000ppm量程）
2.MichellS8000冷镜式精密露点仪（-80℃~+20℃）
3.Agilent490MicroGC微型气相色谱（多通道气体分析）
4.ServomexXentra4900红外气体分析仪（CO₂/H₂O同步检测）
5.INFICONHLD4000氦检漏仪（灵敏度510⁻mbarL/s）
6.VaisalaDMT340在线露点变送器（长期稳定性2℃）
7.AMI3100便携式氧浓度计（防爆型设计）
8.BrukerTENSORII傅里叶红外光谱仪（气体成分定性分析）
9.HORIBAST-300氧气纯度分析仪（99.999%级高精度）
10.MKSMultiGas™2030四极质谱仪（多组分实时监测）