检测项目

1.轴向摆动误差：测量Z轴方向角度偏移量（0.005）

2.径向摆动误差：XY平面内旋转中心偏移（≤0.01mm/100mm）

3.重复定位精度：连续10次回转测试（3σ≤0.002）

4.动态响应特性：0-300rpm转速下的相位延迟（＜5μrad）

5.温度漂移系数：20-40℃温控环境中的角度变化率（0.0005/℃）

检测范围

1.五轴数控机床回转工作台

2.光学平台精密转台系统

3.工业机器人谐波减速机构

4.半导体晶圆对准平台

5.风电变桨轴承总成

检测方法

1.ISO230-7:2015《机床检验通则第7部分：回转轴几何精度》

2.GB/T17421.3-2018《机床检验条件第3部分：数控定位精度评定》

3.ASTME3064-16《激光跟踪系统测量方法》

4.JISB6190-6:2019《工业机器人性能试验方法》

5.DIN876-3:2011《角度测量器具检定规程》

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪（分辨率0.001μm）

2.KEYENCELK-G5000电容位移计（采样率392kHz）

3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪（频响25MHz）

4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂（空间精度15μm）

5.APIXDLaser六维激光校准系统（角度分辨率0.01arcsec）

6.MitutoyoRH-2000电子水平仪（量程1000arcsec）

7.OGPSmartScopeFlash500多传感器测量机

8.SIOSSP-2000纳米级角度干涉仪

9.FlukeTiX580红外热像仪（热灵敏度＜40mK）

10.NIPXIe-5171R高速数据采集卡（采样率1GS/s）