检测项目

1.电荷转移效率（CTE）：≥99.99%（@1MHz时钟频率）

2.暗电流密度：≤1nA/cm（25℃环境温度）

3.动态范围：≥70dB（线性工作区间）

4.量子效率：400-1000nm波段≥80%

5.调制传递函数（MTF）：Nyquist频率处≥0.3

检测范围

1.CCD图像传感器（面阵/线阵）

2.微光增强型CCD组件

3.背照式CCD晶圆

4.红外响应型光电耦合器件

5.X射线探测用CCD模组

检测方法

1.ASTMF1241-22：动态范围与线性度测试规程

2.ISO15529:2020：光学系统MTF测量方法

3.GB/T18905.5-2020：光电探测器量子效率测试规范

4.IEC60747-12-3：半导体器件暗电流测量标准

5.JEDECJESD22-A108E：温度循环可靠性试验

检测设备

1.KeysightB1500A半导体参数分析仪：CTE与暗电流精密测量

2.OrielCS260光谱响应测试系统：量子效率光谱扫描

3.TektronixDPO73304S示波器：高速时序信号采集（12GHz带宽）

4.LabsphereLMS-7600积分球光源：均匀照度校准（200-2500nm）

5.ThermoScientificTSS-70L恒温箱：-70℃~+150℃温度循环测试

6|HamamatsuC11347-11光电校准系统：光子计数模式灵敏度验证

7|BrukerContourGT-X3白光干涉仪：微结构表面形貌分析（0.1nm分辨率）

8|Agilent4156C精密源表：I-V特性曲线扫描

9|VisionResearchPhantomVEO710高速相机：微秒级瞬态响应记录

10|Keithley2636B双通道源表：多节点同步电学特性测试