检测项目

1.平面度误差：测量范围5mm，分辨率0.1μm（依据ISO12781）

2.表面粗糙度Ra值：量程0.01-50μm（符合GB/T3505）

3.三维形貌精度：Z轴重复性≤0.3μm（ASTME2934）

4.台阶高度测量：量程0.1-1000μm（ISO25178-602）

5.曲率半径偏差：测量误差0.5%（GB/T7234）

检测范围

1.金属材料：铝合金/钛合金切削表面

2.复合材料：碳纤维层压板界面形貌

3.光学元件：透镜非球面曲率偏差

4.电子元件：PCB焊盘共面性

5.地质样本：岩石断口三维重构

检测方法

1.相位偏移干涉法（ISO25178-603）

2.共聚焦显微术（GB/T38889-2020）

3.白光垂直扫描法（ASTME2544）

4.激光三角反射法（GB/T6062）

5.飞行时间测距法（ISO13385-1）

检测设备

1.KeyenceLJ-X8000系列：多波长干涉系统（Z轴分辨率0.1nm）

2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三维轮廓仪（视场2020mm）

3.ZeissCOMETL3D2M：蓝光三维扫描仪（点距10μm）

4.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（12000放大倍率）

5.MitutoyoSJ-500：表面粗糙度轮廓仪（触针半径2μm）

6.NikonNEXIVVM-300：视频测量系统（XYZ精度1.5μm）

7.HexagonAbsoluteArm7-Axis：便携式激光扫描臂（采样率50,000点/秒）

8.PolytecMSA-600：微系统分析仪（振动补偿精度10nm）

9.RenishawREVO-2：五轴联动测量系统（动态精度1.9μm）

10.ZygoNewView™9000：相移干涉仪（垂直分辨率0.1）