检测项目
1.静态泄漏率测试：测量范围110⁻⁹~110⁻Pam/s，适用正压/负压系统
2.动态压力衰减监测：测试压力0.1~40MPa，分辨率0.05%FS
3.氦质谱示踪检测：灵敏度≤510⁻mbarl/s
4.界面渗透系数测定：温度范围-196℃~300℃，梯度控制1℃
5.密封面形位公差分析：平面度≤0.01mm/100mm，粗糙度Ra≤0.8μm
检测范围
1.金属焊接结构件（不锈钢/钛合金/镍基合金）
2.高分子弹性密封件（氟橡胶/硅橡胶/PTFE）
3.多层复合材料承压壳体（碳纤维/陶瓷基）
4.真空镀膜设备腔体组件
5.核级阀门与管道连接系统
检测方法
1.ASTME499-20质谱仪检漏法
2.ISO20486:2017氦气泄漏测试系统校准规范
3.GB/T11813-2008核用阀门泄漏率分级标准
4.ASMEBPVCSectionVArticle10压力衰减法
5.GB/T15188.2-2014气密性试验方法
检测设备
1.InficonELT3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻mbarl/s
2.PfeifferASM342检漏模块：集成四极杆质谱分析系统
3.ATEQF620压力衰减测试仪：精度0.1Pa@10kPa量程
4.Varian979系列氦回收系统：回收效率≥95%
5.EdwardsSTP-450涡轮分子泵组：极限真空510⁻⁸mbar
6.MKS925型微流量控制器：控制精度0.5%读数
7.Fluke700G压力校验仪：量程0~70MPa（绝压/表压）
8.KeyenceLJ-V7000激光位移计：分辨率0.01μm平面度测量
9.Agilent490微型气相色谱仪：气体成分分析ppm级
10.ThermoScientificHAAKEMarsIII流变仪：材料渗透特性测试