检测项目

1.激光功率稳定性：连续模式下功率波动≤2%（24小时测试周期）

2.波长精度：中心波长偏差≤0.5nm（可见光波段）

3.光束质量M因子：实测值≤1.3（理论极限为1）

4.发散角测量：全角测量精度0.05mrad（距离≥5m）

5.脉冲持续时间：飞秒级脉冲测量范围10fs-100ns

检测范围

1.金属材料加工用高功率激光器（500W-20kW）

2.半导体晶圆切割用紫外激光系统（355nm）

3.聚合物薄膜标记用CO₂激光器（10.6μm）

4.光学镀膜损伤阈值测试样品

5.医疗美容设备用脉冲激光模块

检测方法

ASTME2758-2016：激光功率稳定性测试规程

ISO11146-1:2021：激光束宽度与发散角测定方法

GB/T15175-2012：固体激光器主要参数测试方法

ISO11554:2017：光学系统激光功率传输测试规范

GB7247.1-2012：激光产品安全第1部分设备分类要求

检测设备

CoherentLaserCheck-SI：功率测量范围10mW-20W（400-1100nm）

OphirBeamGage-USB：光束分析分辨率12801024像素

KeysightN7744A：光功率计最大量程150W（900-1700nm）

NewportLP3-HR：发散角测试仪角度分辨率0.01mrad

Spectra-PhysicsInSightX3：超快脉冲分析带宽＞350nm

ThorlabsBGS10：M因子测量系统CCD靶面直径25mm

Gentec-EOXLP12-3S-H2：高能激光功率传感器量程30kW

HamamatsuC10916：紫外波段光谱响应度校准装置（190-400nm）