检测项目
1.曲率半径偏差：测量范围0.05μm至0.2μm（依据元件口径）
2.表面不规则度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm）
3.离轴畸变量：轴向偏差≤3arcmin
4.局部斜率误差：梯度变化≤0.05mrad/mm
5.旋转对称性偏差：角向不均匀性≤0.8%
检测范围
1.非球面光学透镜（口径Φ5mm-Φ500mm）
2.自由曲面反射镜（表面粗糙度Ra≤5nm）
3.半导体光刻物镜模组（工作波长193nm/248nm）
4.医疗内窥镜镜头（视场角≥120）
5.航空航天用红外光学窗口（材料包括ZnSe/Ge/Si）
检测方法
1.ASTMF2156-21：非球面光学元件干涉测量规范
2.ISO10110-5:2015：光学元件表面不规则度评定
3.GB/T7247.1-2023：激光产品光辐射安全测试
4.ISO14997:2018：光学表面缺陷检验方法
5.GB/T2831-2020：光学零件面形偏差测试方法
检测设备
1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm
2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：垂直分辨率1nm
3.MitutoyoCMM三次元测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：横向分辨率0.5μm
5.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：偏心测量精度1μm
6.KeyenceVR-6000三维扫描系统：点距精度0.3μm
7.FisbaμPhase动态干涉仪：实时面形分析速率60fps
8.NikonNEXIVVMZ-S2520视频测量系统：放大倍率3500X
9.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：Z轴分辨率0.01nm
10.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：振动补偿精度λ/100