检测项目

1.曲率半径偏差：测量范围0.05μm至0.2μm（依据元件口径）

2.表面不规则度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm）

3.离轴畸变量：轴向偏差≤3arcmin

4.局部斜率误差：梯度变化≤0.05mrad/mm

5.旋转对称性偏差：角向不均匀性≤0.8%

检测范围

1.非球面光学透镜（口径Φ5mm-Φ500mm）

2.自由曲面反射镜（表面粗糙度Ra≤5nm）

3.半导体光刻物镜模组（工作波长193nm/248nm）

4.医疗内窥镜镜头（视场角≥120）

5.航空航天用红外光学窗口（材料包括ZnSe/Ge/Si）

检测方法

1.ASTMF2156-21：非球面光学元件干涉测量规范

2.ISO10110-5:2015：光学元件表面不规则度评定

3.GB/T7247.1-2023：激光产品光辐射安全测试

4.ISO14997:2018：光学表面缺陷检验方法

5.GB/T2831-2020：光学零件面形偏差测试方法

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm

2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：垂直分辨率1nm

3.MitutoyoCMM三次元测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：横向分辨率0.5μm

5.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：偏心测量精度1μm

6.KeyenceVR-6000三维扫描系统：点距精度0.3μm

7.FisbaμPhase动态干涉仪：实时面形分析速率60fps

8.NikonNEXIVVMZ-S2520视频测量系统：放大倍率3500X

9.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：Z轴分辨率0.01nm

10.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：振动补偿精度λ/100