检测项目

1.发散角测量：全角（FWHM）范围0.1-50mrad，精度0.05mrad

2.束腰直径测定：测量范围5-500μm，分辨率0.1μm

3.M因子计算：测量范围1.0-3.0，不确定度≤0.05

4.光束指向稳定性：偏移量≤10μrad/℃

5.波前畸变分析：PV值≤λ/4@632.8nm

检测范围

1.固体/气体激光器输出光束质量评估

2.光纤耦合器端面出射光斑特性分析

3.光学透镜组件的像散与像差校正验证

4.激光加工头聚焦系统性能测试

5.空间光调制器波前控制效果验证

检测方法

1.ISO11146系列标准（激光束宽度、发散角及光束传输比）

2.ASTME3052-16（激光束发散角测试规程）

3.GB/T13740-2017（激光辐射光束宽度测试方法）

4.ISO15367-1（激光束波前测量规范）

5.GB/T31359-2015（半导体激光器测试方法）

检测设备

1.Ophir-SpiriconSP928光束分析仪：CCD分辨率19201080，波长范围190-1700nm

2.CoherentModeMasterProM测量系统：支持CW/脉冲激光测量

3.ThorlabsBP209-IR/M红外光束轮廓仪：光谱响应900-1700nm

4.ZygoVerifire干涉仪：波前测量精度λ/100PV值

5.PrimesFocusMonitorFM：聚焦光斑直径测量范围1-500μm

6.DataRayWinCamD-LCM四象限探测器：发散角实时监测系统

7.Gentec-EOBeam'Xpert软件平台：符合ISO11146标准算法

8.HamamatsuC10910系列光束轮廓相机：最高帧率10000fps

9.KeysightN7788B光波组件分析仪：集成M因子计算模块

10.NewportLBP2-USB激光光束分析仪：支持紫外到近红外光谱段