检测项目

1.极限真空度：测量系统可达到的最低压力值（≤1.010^-2Pa）

2.泄漏率：单位时间内气体渗透量（≤5.010^-6mbarL/s）

3.抽气速率：单位时间气体排出体积（≥50L/s）

4.压力维持时间：达到目标真空后的稳定时长（≥30min）

5.温度适应性：工作温度范围内的性能稳定性（-40℃~150℃）

检测范围

1.橡胶密封件风箱（EPDM/NBR材质）

2.金属波纹管组件（不锈钢316L/哈氏合金）

3.复合材料层压结构风箱（碳纤维/聚酰亚胺）

4.汽车制动系统真空助力器

5.航空航天密封舱体补偿装置

检测方法

1.ASTMD3078-02(2021)：气泡发射法测定泄漏率

2.ISO3529-2:2021：静态升压法真空度测试规程

3.GB/T3163-2007：四极质谱仪残余气体分析法

4.GB/T6070-2007：氦质谱检漏仪校准规范

5.ISO10605:2008：电子部件气密性测试流程

检测设备

1.ZJ-52T电阻真空计：量程110⁵~110^-4Pa

2.HLD-200氦质谱检漏仪：灵敏度110^-12mbarL/s

3.2XZ-8旋片式真空泵：极限压力610^-2Pa

4.TPG256A电容薄膜规：精度0.15%读数

5.DHG-9030A恒温试验箱：温控精度0.5℃

6.ZQJ-530正负压检漏仪：测试压力100kPa

7.AgilentUHV-24高真空计：量程110^-9~1000Torr

8.LabMaster系列气密性测试台：符合ISO10605标准

9.GDJS-01高低温交变箱：温度范围-70℃~150℃

10.INFICONECOTECE3000氦检系统：最小可检漏率510^-12mbarL/s