检测项目

1.压力衰减测试：测量压力下降速率（0.1-1000Pa/min），精度0.5%FS

2.氦泄漏率测定：灵敏度110⁻mbarL/s至110⁻mbarL/s

3.真空密封性验证：极限真空度≤510⁻⁴Pa

4.流量法泄漏测试：流量范围0.01-100mL/min（标况）

5.爆破压力试验：最大测试压力50MPa（误差0.25%）

检测范围

1.金属密封容器（储罐/管道/阀门）

2.塑料包装材料（食品/药品/电子器件封装）

3.汽车零部件（油箱/散热器/制动系统）

4.半导体器件（芯片封装/真空腔体）

5.医疗器械（透析器/输液器具/无菌包装）

检测方法

1.ASTME499/E1603：氦质谱示踪气体检漏法

2.ISO10648-2:1994：密封室泄漏率分级标准

3.GB/T15171-2021：软包装件密封性能试验方法

4.GB/T13927-2022：工业阀门压力试验规范

5.ISO20486:2017：泄漏校准系统技术要求

检测设备

1.INFICONELT3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻mbarL/s

2.ATEQF620压力衰减测试仪：分辨率0.01Pa（量程0-600kPa）

3.VICLeakMasterL300真空箱式检漏系统：真空度可达510⁻⁴mbar

4.UsonAccuTru系列流量型检漏仪：流量测量精度0.5%读数

5.PfeifferASM340氦检模块：集成式四极杆质谱分析单元

6.CosmoDC-07差压式检漏台：双通道同步对比测试功能

7.TQCSP3000爆破测试机：最大压力输出200MPa

8.CincinnatiTestSystemsSentinelI28：多工位自动化测试平台

9.OerlikonLeyboldPHOENIXL300i：工业级在线式氦气回收系统

10.DekkerVacuumTechnologiesModelVG-98：高真空分子泵组配置