检测项目
1.焦距偏差:实测值与标称值偏差≤0.5%(依据GB/T7661-2020)
2.光轴偏移量:中心偏移≤3μm(ISO10110-7:2017)
3.透射波前差:RMS值≤λ/8(λ=632.8nm)
4.表面光洁度:划痕/麻点等级≤40-20(MIL-PRF-13830B)
5.环境稳定性:-40℃~+85℃循环后畸变量≤0.1%
检测范围
1.显微镜用平场消色差目镜(10X-40X)
2.激光准直系统非球面目镜组
3.天文望远镜广角目镜(视场角≥60)
4.工业内窥镜防水型目镜组件
5.军用级抗冲击复合目镜系统
检测方法
1.焦距测量:GB/T7661-2020《光学零件焦距测量方法》
2.像质评价:ISO9345:2019《显微镜光学成像质量测试》
3.面形检测:ASTME2175-01(2021)激光干涉法
4.环境试验:GJB150.3A-2009高温存储试验规程
5.机械强度:ISO9022-1:2016光学元件振动测试标准
检测设备
1.TriopticsImageMasterHR:分辨率与MTF测试系统(精度0.1lp/mm)
2.ZYGOVerifire™HDX:激光干涉仪(PV值测量精度λ/100)
3.MitutoyoMF-U1000A:超精密三坐标测量机(重复精度0.3μm)
4.OptikosCGH-200:计算全息图面形校准装置(适用非球面检测)
5.Spectro-3200Pro:宽光谱透过率测试仪(波长范围380-2500nm)
6.ThermotronST-402:温湿度复合试验箱(温控精度0.5℃)
7.BrukerContourGT-X3:白光干涉表面轮廓仪(垂直分辨率0.1nm)
8.OphirBeamGage:激光光束质量分析仪(采样率200kHz)
9.KeyenceVHX-7000:数字显微系统(5000万像素超景深成像)
10.Instron6800系列:万能材料试验机(载荷精度0.5%)