检测项目
1.光束发散角：测量远场发散半角，典型范围0.1mrad~10mrad
2.光斑直径（1/e强度）：精度0.5μm@632.8nm波长
3.M因子：表征光束质量，正常范围1.0~2.0
4.椭圆度偏差：长轴/短轴比≤1.05
5.近场/远场光强分布：RMS不均匀性≤5%
检测范围
1.半导体激光器（波长405~1550nm）
2.Nd:YAG固体激光器（1064nm/532nm）
3.红外光学材料（Ge,ZnSe窗口片）
4.光纤耦合器件（单模/多模光纤输出）
5.准直透镜组（焦距5~500mm）
检测方法
1.ASTME1392-22《激光束直径测试规程》
2.ISO11146-1:2021《激光束宽度与发散角测定》
3.GB/T13739-2020《激光光束宽度测试方法》
4.ISO13694:2018《激光束能量密度分布测试》
5.GB/T31359-2015《半导体激光器光束特性测量》
检测设备
1.CoherentBeamMasterBM-7：波长范围190-1700nm，光斑直径测量精度0.8%
2.OphirBeamGage6.5：支持M因子自动计算，采样率10kHz
3.ThorlabsBP209-IR/M：红外波段(900-1700nm)专用扫描狭缝仪
4.CinogyC4-HS高速相机：20482048像素，帧率480fps@全分辨率
5.PrimesFocusMonitorFM：焦距0.5-20m长距离光束分析系统
6.DataRayWinCamD-LCM：双摄像头同步测量近场/远场分布
7.Gentec-EOBeam'R2：实时波前分析仪，Zernike系数解析至36项
8.HamamatsuC10910-10：紫外增强型CCD(200-1100nm)，量子效率＞40%@266nm
9.NewportLBP2-HE：高能激光检测(10kW/cm)，水冷式衰减系统
10.SpiriconM2-200s：符合ISO11146标准的自动M测量装置