检测项目
1.数值孔径测量：测试范围0.25-1.4NA，精度0.01NA
2.工作距离校准：测量范围0.1-20mm，分辨率0.1μm
3.波前像差分析：PV值≤λ/4（@632.8nm），RMS≤λ/50
4.光谱透过率测试：波长范围400-1600nm，精度0.5%
5.镀膜厚度均匀性：测量误差≤3nm（50-500nm膜层）
检测范围
1.光学玻璃透镜：BK7/FK51/SF11等材质
2.晶体材料透镜：氟化钙/硒化锌/硅单晶组件
3.金属镀膜透镜：铝/金/银反射式物镜
4.聚合物非球面镜：PMMA/COC模压成型物镜
5.红外材料物镜：锗/硫化锌中长波红外透镜
检测方法
1.ISO8039:2018《显微镜物镜数值孔径测定方法》
2.GB/T7661-2009《光学零件表面疵病检验方法》
3.ASTMF529-16《光学系统波前畸变测试规程》
4.ISO10110-5:2015《光学元件表面形状公差》
5.GB/T26332.3-2015《光学薄膜元件环境试验方法》
检测设备
1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，PV测量精度λ/100
2.OlympusMX63金相显微镜：500X放大倍率，NA自动识别系统
3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：带宽0.1nm，积分球直径150mm
4.MitutoyoLSM-9000激光测长机：分辨率0.01μm，最大量程25mm
5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，扫描速度50μm/s
6.ThorlabsPAX1000偏光分析仪：消光比测量精度0.05
7.Agilent5500原子力显微镜：扫描范围90μm90μm，Z轴噪声＜0.05nm
8.NikonNIS-Elements成像分析系统：支持MTF/SFR客观分辨率测试
9.OptikosOptiTest调制传递函数仪：空间频率0-600lp/mm
10.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：532/633/785nm多波长配置