检测项目

1.表面粗糙度（Ra）：测量范围0.01-50μm，分辨率0.001μm

2.轮廓波纹度（Wt）：分析波长0.08-8mm的周期性起伏

3.三维形貌偏差：Z轴测量精度0.05μm@20物镜

4.微观缺陷识别：最小可检缺陷尺寸0.5μm

5.涂层结合面形态：界面过渡区测量精度2μm

检测范围

1.金属材料：发动机缸体珩磨纹、轴承滚道加工纹等

2.高分子材料：注塑件熔接线形态、薄膜表面微孔分布

3.陶瓷材料：烧结体晶界形貌、热障涂层孔隙率

4.复合材料：碳纤维/树脂界面结合状态分析

5.精密加工件：光学元件衍射结构、微机电系统表面形貌

检测方法

1.ASTME1351-22《表面复型制备与分析方法》

2.ISO4287:2023《几何产品规范(GPS)表面结构:轮廓法术语定义》

3.GB/T3505-2021《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语定义》

4.ISO25178-6:2022《几何产品规范(GPS)表面结构:区域法第6部分:复型测量方法》

5.GB/T10610-2023《产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》

检测设备

1.TalysurfCCILite非接触式三维轮廓仪（分辨率0.01nm，符合ISO25178）

2.MitutoyoSurftestSJ-410接触式粗糙度仪（测量范围800μm）

3.KeyenceVK-X3000激光共聚焦显微镜（1200光学放大倍率）

4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪（垂直分辨率0.1nm）

5.OlympusDSX1000数字显微镜（21:1变焦比）

6.ZygoNewView9000白光干涉仪（最大扫描范围10mm10mm）

7.JenoptikWaveline干涉测量系统（重复精度0.5nm）

8.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化三维测量仪（轴向分辨率10nm）

9.NikonEclipseLV150金相显微镜（1500最大放大倍率）

10.HitachiSU5000热场发射电镜（分辨率1nm@15kV）