检测项目
1.轮廓算术平均偏差（Ra）：表征表面轮廓与基准线的平均高度差，典型检测范围0.1μm-25μm
2.微观不平度十点高度（Rz）：选取5个最高峰与5个最低谷的垂直距离均值，适用0.5μm-100μm量程
3.轮廓均方根偏差（Rq）：轮廓纵坐标值的均方根计算值，精度要求0.02μm
4.最大轮廓高度（Rt）：单个取样长度内最高峰与最低谷的垂直距离
5.轮廓单元平均宽度（Rsm）：评定表面纹理间距的参数，分辨率需达0.01mm
检测范围
1.金属加工件：包括车削/铣削/磨削后的钢件、铝合金件等
2.注塑成型件：塑料壳体、精密齿轮等聚合物制品
3.陶瓷基材：电子封装基板、结构陶瓷等脆性材料表面
4.复合材料层压板：碳纤维增强树脂基复合材料表面
5.光学元件：透镜、棱镜等超精密加工表面
检测方法
1.触针式轮廓法：符合ISO4287:1997与GB/T3505-2009标准要求
2.激光干涉测量法：依据ASTMD7127-17进行非接触式三维重构
3.白光共聚焦显微术：执行ISO25178-602:2010标准参数体系
4.数字图像处理法：满足GB/T10610-2009的滤波与评定规范
5.原子力显微测量：适用于纳米级表面形貌的ISO11039:2012标准
检测设备
1.TaylorHobsonFormTalysurfi系列：分辨率0.8nm的三维轮廓仪
2.MitutoyoSurftestSJ-410：行程35mm的便携式粗糙度仪
3.BrukerContourGT-K1：基于白光干涉的3D光学轮廓仪
4.ZeSmartH1200三维显微镜：配备60倍物镜的共聚焦系统
5.KeyenceVK-X3000系列：激光显微系统支持ISO/JIS双标准
6.MahrMarSurfLD260：多探头复合式粗糙度测量站
7.OlympusLEXTOLS5000：120nm横向分辨率的激光显微镜
8.Hommel-EtamicT8000CNC：全自动多测头表面测量系统
9.AliconaInfiniteFocusG5：轴向分辨率10nm的光学测量仪
10.ZygoNewView9000：相位偏移干涉三维形貌分析系统