检测项目

1.电子发射性能：测试功函数（≤2.6eV）、发射电流密度（≥10A/cm@1800℃）、寿命稳定性（≥2000小时）

2.化学成分分析：La含量（71.50.3wt%）、B含量（28.20.3wt%）、杂质元素总量（O≤0.1%、C≤0.05%）

3.晶体结构表征：晶格常数（4.1560.002）、晶粒尺寸（1-5μm）、取向偏差（<3）

4.热稳定性测试：热膨胀系数（6.510⁻⁶/K@RT-1600℃）、挥发速率（≤1μg/cmh@1700℃）

5.表面形貌分析：表面粗糙度Ra（≤0.2μm）、孔隙率（≤0.5%）、微裂纹密度（≤3条/mm）

检测范围

1.单晶/多晶六硼化镧阴极材料

2.热解石墨基底LaB₆涂层阴极组件

3.真空电子枪用锥形发射体

4.场发射显示器平面阴极基板

5.电子显微镜用高亮度点状阴极

检测方法

1.ASTMF1711-08(2020)：热电子发射特性测试规程

2.ISO19318:2016：表面化学分析-X射线光电子能谱法

3.GB/T13301-2020：金属材料电子功函数测定方法

4.GB/T16594-2008：微米级长度的扫描电镜测量方法

5.ISO14705:2016：精细陶瓷高温热膨胀试验方法

6.ASTME112-13：晶粒度测定标准试验方法

检测设备

1.FEINovaNanoSEM450场发射扫描电镜：纳米级表面形貌分析

2.RigakuSmartLabX射线衍射仪：晶体结构精确测定（精度0.0001）

3.ULVACPHI5000VersaProbeIIIXPS：表面元素化学态分析（能量分辨率<0.5eV）

4.KeysightB1500A半导体参数分析仪：发射电流密度测试（量程1nA-10A）

5NetzschDIL402C热膨胀仪：高温热膨胀系数测量（最高温度1600℃）

6.OxfordInstrumentsAZtecEnergyEDS系统：元素成分面分布分析（探测限0.1wt%）

7Agilent7900ICP-MS：痕量杂质元素检测（ppb级灵敏度）

8RHKTechnologyUHV-AFM：原子级表面粗糙度测量（垂直分辨率0.01nm）

9PfeifferVacuumHiPace700分子泵机组：维持测试真空度≤510⁻⁷Pa

10InstronE10000高温力学试验机：热震循环测试（ΔT=1500℃/min）