检测项目

1.材料折射率均匀性：测量波长632.8nm下折射率偏差值Δn≤210⁻⁶

2.表面面形精度：PV值（峰谷值）≤λ/10（λ=632.8nm）

3.曲率半径偏差：相对公差0.05%（R≥50mm）

4.中心厚度公差：0.01mm（厚度范围1-50mm）

5.光谱透射比：400-700nm波段透过率≥99.5%

6.应力双折射：光程差≤3nm/cm

检测范围

1.光学玻璃透镜（BK7、FusedSilica等）

2.红外晶体材料（ZnSe、Ge、Si等）

3.非球面光学元件（抛物面、双曲面镜片）

4.微透镜阵列（单元尺寸50-500μm）

5.聚合物光学薄膜（PET、PC基材）

6.光纤耦合器件（准直器、聚焦头）

检测方法

1.ASTME903-20《材料光谱透射比测试标准》

2.ISO10110-5:2015《光学元件表面缺陷评定》

3.GB/T7661-2009《光学零件表面疵病检验方法》

4.ISO14997:2018《光学元件应力双折射测试》

5.GB/T11168-2022《光学零件曲率半径测量方法》

6.ASTMF218-20《激光干涉法测量光学表面》

检测设备

1.ZygoVerifireHDX激光干涉仪：波长632.8nm，面形精度测量分辨率0.1nm

2.TriopticsOptiCentric双轴中心仪：测量精度0.5μm，适用直径1-300mm元件

3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：波长范围185-3300nm，分辨率0.1nm

4.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列三坐标仪：空间精度(1.2+3L/1000)μm

5.PrismMasterPM8000应力仪：测量灵敏度0.3nm/cm

6.TaylorHobsonPGIDimension轮廓仪：纵向分辨率0.8nm，扫描速度1mm/s

7.OlympusSTM7测量显微镜：放大倍率50X-1000X，CCD分辨率24482048

8.Keysight5500原子力显微镜：Z轴分辨率0.01nm，扫描范围90μm90μm

9.NewportAutoAlign旋转平台：角度定位精度1arcsec

10.ThorlabsBP209-VIS/M光束分析仪：像素尺寸4.4μm，帧率54Hz