检测项目

1.表面电势分布：测量范围10kV，分辨率0.1V

2.电势衰减时间常数：0.1s-1000s区间测定

3.电荷密度分布：精度5μC/m

4.介质极化响应：频率范围10Hz-1MHz

5.空间电荷迁移率：温度控制0.5℃

检测范围

1.半导体晶圆（硅片/砷化镓）

2.高分子绝缘薄膜（PET/PTFE）

3.压电陶瓷材料（PZT/BaTiO₃）

4.生物医用聚合物（PLA/PCL）

5.功能涂层材料（抗静电/导电涂层）

检测方法

1.ASTMD257-14：绝缘材料表面电阻标准测试法

2.ISO3915:2021：塑料薄膜表面电位测量规范

3.GB/T31838.4-2019：固体绝缘材料介电性能试验方法

4.IEC62631-3-1:2016：介质极化特性测试规程

5.GB/T16840.4-2021：电气绝缘材料带电特性试验

检测设备

1.KEITHLEY6517B静电计：分辨率0.1fA/0.1μV

2.TREKModel347振动电容电位计：量程20kV

3.MonroeElectronicsModel284D非接触电位仪

4.HIOKIIM3570阻抗分析仪：频率精度0.05%

5.AgilentB1505A功率器件分析系统

6.Electro-TechSystemsModel344电荷衰减测试台

7.KeysightB2987A皮安表/静电计

8.SimcoIonFMX-004静电分布成像系统

9.MitsubishiChemicalSM-8220表面电位扫描仪

10.OmicronBCP-20接触式表面电位探针