检测项目
1.表面电势分布：测量范围10kV，分辨率0.1V
2.电势衰减时间常数：0.1s-1000s区间测定
3.电荷密度分布：精度5μC/m
4.介质极化响应：频率范围10Hz-1MHz
5.空间电荷迁移率：温度控制0.5℃
检测范围
1.半导体晶圆（硅片/砷化镓）
2.高分子绝缘薄膜（PET/PTFE）
3.压电陶瓷材料（PZT/BaTiO₃）
4.生物医用聚合物（PLA/PCL）
5.功能涂层材料（抗静电/导电涂层）
检测方法
1.ASTMD257-14：绝缘材料表面电阻标准测试法
2.ISO3915:2021：塑料薄膜表面电位测量规范
3.GB/T31838.4-2019：固体绝缘材料介电性能试验方法
4.IEC62631-3-1:2016：介质极化特性测试规程
5.GB/T16840.4-2021：电气绝缘材料带电特性试验
检测设备
1.KEITHLEY6517B静电计：分辨率0.1fA/0.1μV
2.TREKModel347振动电容电位计：量程20kV
3.MonroeElectronicsModel284D非接触电位仪
4.HIOKIIM3570阻抗分析仪：频率精度0.05%
5.AgilentB1505A功率器件分析系统
6.Electro-TechSystemsModel344电荷衰减测试台
7.KeysightB2987A皮安表/静电计
8.SimcoIonFMX-004静电分布成像系统
9.MitsubishiChemicalSM-8220表面电位扫描仪
10.OmicronBCP-20接触式表面电位探针