检测项目

1.线性度误差：量程范围内最大偏差值≤0.05%FS

2.温度稳定性系数：-40℃~85℃温域内漂移量≤0.003%/℃

3.重复性精度：10次循环测试标准差≤0.01%

4.滞后效应：正反向加载差值≤0.02%FS

5.长期稳定性：2000小时老化试验漂移量≤0.1%

检测范围

1.金属基应变敏感合金（康铜/卡玛合金）

2.MEMS压力传感器硅膜片结构

3.高分子压电复合材料（PVDF/PZT）

4.光纤光栅应变传感元件

5.工业级扭矩传感器弹性体

检测方法

1.ASTME2309-2020温度循环测试规程

2.ISO16063-21:2003振动环境适应性评估

3.GB/T12162-2018静态特性校准规范

4.IEC60747-14-3:2019半导体传感器测试标准

5.GB/T18459-2015传感器长期稳定性试验方法

检测设备

1.Keysight34972A数据采集系统（0.002%基本精度）

2.Fluke6105A液压式标准力源（0~50kN,0.01%）

3.ESPECTSE-12-A高低温试验箱（-70℃~180℃）

4.PolytecPSV-500激光测振仪（0.1μm/s分辨率）

5.MTSC45.305电液伺服疲劳试验机（100Hz动态加载）

6.HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机（0.6μm/m）

7.Agilent34420A纳伏微欧表（1nV电压分辨率）

8.Brel&Kjr3053-B-060声学振动分析系统

9.Instron6800系列动态力学分析仪（1μN力值分辨）

10.OGPSmartScopeFlash500光学影像测量仪