二硼烷检测

检测项目

1.纯度测定：气相色谱法（GC）测定主成分含量≥99.5%

2.杂质气体分析：氢气（H₂）≤0.1%、甲烷（CH₄）≤50ppm

3.水分含量：露点法测定≤3ppm（-76℃露点）

4.颗粒物浓度：激光粒子计数器测试≤100颗粒/立方米（≥0.1μm）

5.爆炸极限测试：空气中可燃下限（LEL）0.8%-88%

检测范围

1.电子级二硼烷气体（纯度≥99.999%）

2.化学气相沉积（CVD）工艺尾气

3.储气钢瓶内壁腐蚀产物

4.半导体制造车间环境空气

5.硼掺杂工艺废气处理系统

检测方法

1.ASTME29-20《气体纯度测试标准规程》

2.ISO19230:2018《气体中颗粒物浓度测定》

3.GB/T14850-2020《电子工业用气体分析方法》

4.GB/T5832.1-2016《气体中微量水分的测定》

5.ASTMD4984-20《可燃气体爆炸极限测试方法》

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪：配备TCD检测器，分辨率0.01%

2.MettlerToledoC30露点仪：测量范围-100~+20℃，精度0.5℃

3.TSI9306激光粒子计数器：0.1~5μm粒径分级检测

4.HORIBAVA-5000傅里叶红外分析仪：多组分气体同步分析

5.INFICONHAPSITEER便携式气质联用仪：现场快速筛查

6.AMETEKMoconPACCHECK650微量氧分析仪：分辨率0.01ppm

7.KANOMAX3889爆炸极限测试装置：温度控制0.1℃

8.ShimadzuGCMS-QP2020NX气质联用仪：ppb级杂质分析

9.BrukerALPHAII傅里叶变换红外光谱仪：腐蚀产物鉴定

10.ENVEACairsensH2传感器：实时监测氢气浓度