检测项目

1.电极间距精度：测量精度0.1μm，重复性误差≤0.5%

2.接触电阻稳定性：测试电流1-100mA，电阻波动范围≤2%

3.极化电压均匀性：电压梯度0.1-5V/cm，偏差率＜3%

4.阻抗频谱特性：频率范围10mHz-1MHz，相位角分辨率0.01

5.电荷转移效率：库仑效率测试误差0.05%，循环次数≥1000次

检测范围

1.锂离子电池多极耳结构：镍/铝复合集流体

2.PEM燃料电池双极板：石墨/金属复合基材

3.生物医学微电极阵列：铂铱合金/碳纤维材质

4.超级电容器叉指电极：活性炭/石墨烯涂层

5.MEMS电化学传感器：硅基铂金微电极系统

检测方法

1.ASTMF76-08(2020)：微间距接触电阻测试规范

2.ISO18594:2019：多电极极化特性评估方法

3.GB/T36340-2018：柔性电极机械耐久性试验规程

4.IEC62374-1:2021：半导体器件多电极可靠性测试

5.GB/T39246-2020：质子交换膜燃料电池双极板电导率测定

检测设备

1.Keithley4200A-SCS参数分析仪：支持64通道同步阻抗测量

2.ZahnerZenniumPro电化学工作站：具备多频EIS扫描功能

3.KeysightB1500A半导体分析仪：μΩ级接触电阻测试精度

4.MitutoyoQuickVisionPro影像仪：0.3μm级电极形貌分析

5.Agilent4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz宽频带测试能力

6.GamryInterface5000E：支持多电极恒电位阶跃实验

7.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：三维表面粗糙度测量

8.HiokiIM3590化学阻抗计：四端对多点接触电阻测试

9.ThermoFisherApreoSEM：纳米级电极界面形貌表征

10.MaccorSeries4000测试系统：多通道循环伏安法测试