


1.曲率半径偏差:测量范围500mm,精度0.01mm(依据ISO10110-5)
2.面形偏差(PV值):波长范围400-700nm,允许误差≤0.1λ(λ=632.8nm)
3.非对称畸变量:轴向偏移量≤3μm/100mm(GB/T1184-1996)
4.局部凹陷/凸起:缺陷深度分辨率0.05μm(ASTMF534-08)
5.边缘翘曲度:最大允许偏差0.02mm/m(ISO12179:2021)
1.光学玻璃透镜及棱镜(直径Φ5-500mm)
2.金属精密结构件(铝合金/钛合金基材)
3.半导体晶圆衬底(厚度100-800μm)
4.碳纤维复合材料板(铺层角度0-90)
5.注塑成型塑料件(收缩率0.2%-1.5%)
1.激光干涉法:ISO14997-2018光学表面缺陷测试
2.白光轮廓术:ASTME1169-14非接触式三维形貌测量
3.坐标测量法:GB/T16857.2-2017几何量公差评定
4.数字图像相关法:ISO22007-6全场应变分析
5.菲索干涉法:GB/T1800.1-2020平面度误差测量
1.ZYGOVerifire干涉仪:波长632.8nm,PV重复性0.005λ
2.MitutoyoCMM三坐标机:空间精度(1.9+3L/1000)μm
3.BrukerContourGT白光轮廓仪:垂直分辨率0.1nm
4.KeyenceVR-5000三维扫描系统:采样频率300kHz
5.TaylorHobsonRoundnessRA-2200:径向误差0.025μm
6.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜:Z轴分辨率10nm
7.NikonNEXIVVMZ-S2520视频测量仪:放大倍率3500X
8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂:空间精度15μm
9.RenishawXL-80激光校准系统:线性精度0.5ppm
10.OptofluxF20菲索干涉仪:最大测试口径Φ600mm
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与"负畸变检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。
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