检测项目

1.曲率半径偏差：测量范围500mm，精度0.01mm（依据ISO10110-5）

2.面形偏差（PV值）：波长范围400-700nm，允许误差≤0.1λ（λ=632.8nm）

3.非对称畸变量：轴向偏移量≤3μm/100mm（GB/T1184-1996）

4.局部凹陷/凸起：缺陷深度分辨率0.05μm（ASTMF534-08）

5.边缘翘曲度：最大允许偏差0.02mm/m（ISO12179:2021）

检测范围

1.光学玻璃透镜及棱镜（直径Φ5-500mm）

2.金属精密结构件（铝合金/钛合金基材）

3.半导体晶圆衬底（厚度100-800μm）

4.碳纤维复合材料板（铺层角度0-90）

5.注塑成型塑料件（收缩率0.2%-1.5%）

检测方法

1.激光干涉法：ISO14997-2018光学表面缺陷测试

2.白光轮廓术：ASTME1169-14非接触式三维形貌测量

3.坐标测量法：GB/T16857.2-2017几何量公差评定

4.数字图像相关法：ISO22007-6全场应变分析

5.菲索干涉法：GB/T1800.1-2020平面度误差测量

检测设备

1.ZYGOVerifire干涉仪：波长632.8nm，PV重复性0.005λ

2.MitutoyoCMM三坐标机：空间精度(1.9+3L/1000)μm

3.BrukerContourGT白光轮廓仪：垂直分辨率0.1nm

4.KeyenceVR-5000三维扫描系统：采样频率300kHz

5.TaylorHobsonRoundnessRA-2200：径向误差0.025μm

6.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：Z轴分辨率10nm

7.NikonNEXIVVMZ-S2520视频测量仪：放大倍率3500X

8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度15μm

9.RenishawXL-80激光校准系统：线性精度0.5ppm

10.OptofluxF20菲索干涉仪：最大测试口径Φ600mm