检测项目

1.角度偏差：测量实际角度与理论值的偏离程度（0.05~2.0）

2.表面粗糙度：Ra值范围0.1μm~3.2μm

3.边缘直线度：允许偏差≤0.02mm/m

4.倒角对称性：两侧倒角宽度差≤0.1mm

5.棱线清晰度：目视无断线且显微观测毛刺≤5μm

检测范围

1.金属切削刀具（硬质合金/高速钢）

2.光学棱镜（BK7玻璃/熔融石英）

3.半导体晶圆切割边缘

4.航空航天复合材料构件

5.精密模具成型面

检测方法

1.ASTME177-20《角度测量系统验证规程》

2.ISO10110-5:2015《光学元件边缘规范》

3.GB/T11336-2021《直线度误差检测》

4.GB/T7234-2020《产品几何量技术规范》

5.ISO4287:1997《表面粗糙度术语定义》

检测设备

1.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机（精度1.5μm）

2.ZygoNewView9000激光干涉仪（分辨率0.1nm）

3.KeyenceVR-5000三维轮廓仪（Z轴重复精度0.03μm）

4.TaylorHobsonTalyrond585圆度仪（角度分辨率0.001）

5.OlympusDSX1000数码显微镜（500倍光学放大）

6.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂（空间精度15μm）

7.JenoptikHommel-EtamicW10粗糙度仪（Ra测量范围0.01-100μm）

8.NikonNEXIVVMZ-S656T视频测量系统（双远心镜头）

9.RenishawXL-80激光跟踪仪（动态测距精度0.5ppm）

10.ZeissO-INSPECT322复合式测量机（多传感器融合技术）