检测项目

1.泄漏率测试：测量单位时间内气体泄漏量（≤110⁻⁹Pam/s）

2.真空度维持时间：记录系统从10⁻⁴Pa升至10⁻Pa所需时间（≥30min）

3.压力衰减速率：监测固定容积内压力变化（ΔP≤0.5Pa/min）

4.密封材料渗透系数：测定特定温度下气体渗透量（H₂渗透率≤110⁻⁴mol/(msPa)）

5.残余气体分析：识别真空环境中残留气体成分（H₂O含量≤10ppm）

检测范围

1.航空航天部件：燃料储罐密封件/航天器舱门

2.半导体制造设备：光刻机真空腔室/晶圆传输系统

3.医疗器械：血液透析仪密封管路/植入式器械包装

4.新能源装置：锂离子电池电解液封装/燃料电池双极板

5.高能物理装置：粒子加速器真空管道/超导磁体绝缘层

检测方法

1.ASTME493-22：氦质谱累积法测定微小泄漏率

2.ISO3530:2020：静态升压法评估系统整体密封性

3.GB/T32218-2015：压力衰减法工业快速检漏规程

4.ASTMD3078-21：气泡法检测柔性包装密封性能

5.GB/T15112-2020：示踪气体法测定复杂系统泄漏点

检测设备

1.INFICONUL2000氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）

2.AgilentUHV-24四极质谱仪（残余气体分析分辨率0.5amu）

3.LeyboldD35600全自动真空测试台（极限真空510⁻⁷Pa）

4.PfeifferASM340检漏模块（集成式压力衰减测量单元）

5.EdwardsSTP-451涡轮分子泵组（抽速450L/s）

6.MKS925型微压差传感器（分辨率0.01Pa）

7.Varian979系列电离规管（量程10⁻⁰~10⁻Torr）

8.ShimadzuGAD-201气体渗透分析仪（温度控制0.1℃）

9.CanonTokkiVAC-1000真空维持测试系统（多工位并行测试）

10.EdwardsXDS35干式涡旋泵（无油抽气技术）