检测项目

1.激光光束平行度：测量发散角≤0.5mrad，轴向偏移量0.1mm

2.光学元件同轴度：中心偏差≤3μm（Φ50mm以下元件）

3.光机系统装调误差：角度偏差≤10"，位移偏差≤15μm

4.光纤耦合效率：端面偏移容差2μm（单模光纤）

5.反射镜面形准直度：PV值≤λ/8（@632.8nm）

检测范围

1.激光发射/接收模组：包括固体激光器、半导体激光器及光纤激光器

2.光电传感器组件：CCD/CMOS成像系统、光电探测器阵列

3.天文观测仪器：反射式望远镜主副镜组、赤道仪传动系统

4.光纤通信设备：波分复用器、光开关及连接器插芯

5.医疗光学器械：内窥镜成像系统、激光手术导光臂

检测方法

1.ISO11146-1:2021激光束宽度与发散角测量规范

2.ASTME903-20材料光谱反射率标准测试方法

3.GB/T11297.11-2015激光光束平行性测试方法

4.ISO10110-6:2017光学元件偏心公差标注规范

5.GB/T16857-2018坐标测量机验收检测规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/100PV

2.TriopticsOptiCentricDual双轴准直仪：角度分辨率0.1"，位移精度0.5μm

3.OphirSP928光束分析仪：测量直径0.8-12mm，功率范围10μW-20W

4.KeyenceLT-9000激光位移计：采样频率392kHz，线性度0.02%F.S.

5.NewportM-UTM50微型调整架：角度调节精度15μrad，平移分辨率0.5μm

6.ThorlabsPAX1000偏振对准仪：消光比测量范围0-40dB

7.HamamatsuC10441CCD光束轮廓仪：像素尺寸14μm14μm

8.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量精度0.5ppm

9.MitutoyoMF-U系列测微目镜：最小刻度0.01mm，视场Φ20mm

10.Agilent8163B可调谐光源：波长范围1260-1640nm，功率稳定性0.02dB