检测项目
1.颜色分级:CIELab色度系统测量主波长(470-480nm)、饱和度(60-80%)及明度(L*值65-75)
2.折射率测定:双折射率测试(Δn=0.008-0.009),全内反射临界角测量(33.50.5)
3.硬度测试:维氏硬度(HV2000-2200),努氏硬度(HK220050)
4.晶体缺陷分析:位错密度(≤10^3/cm),包裹体尺寸(<50μm)
5.热稳定性测试:热膨胀系数(5.310^-6/K),耐温冲击(ΔT≥800℃)
检测范围
1.珠宝级单晶蓝宝石:刻面型宝石裸石及镶嵌成品
2.光学级蓝宝石基片:直径2-8英寸晶圆(晶向<0001>偏差<0.5)
3.工业视窗材料:厚度0.5-20mm的平面/曲面视窗组件
4.LED衬底材料:图形化蓝宝石衬底(PSS)的周期结构(1-3μm)
5.特种涂层材料:C轴取向蓝宝石薄膜(厚度100nm-10μm)
检测方法
1.ASTMC1327-2015蓝宝石努氏硬度测试规程
2.ISO18323-2015合成刚玉颜色分级规范
3.GB/T32863-2016蓝宝石晶体缺陷X射线形貌术检测方法
4.ASTMF1467-2018蓝宝石晶片表面粗糙度测试规程(Ra≤0.5nm)
5.GB/T23461-2009蓝宝石单晶中位错密度的测定化学腐蚀法
检测设备
1.X-RiteCi7800分光光度计:光谱范围360-750nm,分辨率1nm
2.MitutoyoC112EX010显微硬度计:载荷范围10-1000gf
3.BrukerD8DISCOVERX射线衍射仪:CuKα辐射(λ=1.5406)
4.OlympusBX53M偏光显微镜:透反射模式切换,500放大倍率
5.PerkinElmerFrontierFTIR红外光谱仪:波数范围7800-350cm⁻
6.ZygoNewView9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm
7.NetzschDIL402C热膨胀仪:温度范围RT-1600℃
8.HitachiSU8010场发射电镜:分辨率1nm@15kV
9.Agilent7900ICP-MS质谱仪:检出限ppb级元素分析
10.VeecoDimensionIcon原子力显微镜:扫描范围90μm90μm