检测项目
1.电极间隙测量：分辨率0.1μm，量程0.05-5mm
2.平行度误差分析：角度偏差≤0.02
3.表面粗糙度检测：Ra值范围0.1-6.3μm
4.三维形貌重建：Z轴精度0.5μm
5.热膨胀系数测试：温度范围-40℃~300℃
检测范围
1.锂离子电池正负极片
2.超级电容器电极组件
3.MEMS微机电系统
4.真空管电极结构
5.电火花加工电极
检测方法
1.ASTMF2111-01a(2020)微米级间隙测量标准
2.ISO1101:2017几何公差规范
3.GB/T18287-2013锂电池通用规范
4.IEC62391-1:2015固定电容器标准
5.GB/T11337-2004形状和位置公差检测
检测设备
1.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000万像素CCD，20nm重复精度
2.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标机：空间精度(1.9+3L/1000)μm
3.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：405nm激光光源
5.Instron5969材料试验机：载荷分辨率0.001N
6.FLIRA655sc红外热像仪：640480探测器阵列
7.BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：20物镜NA0.4
8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：单点重复精度15μm
9.Agilent4294A阻抗分析仪：频率范围40Hz-110MHz
10.NetzschDIL402C热膨胀仪：升温速率0-50K/min