检测项目
1.真空度测量范围：110⁻⁵Pa至110Pa（绝对压力）
2.线性度误差：≤0.5%FS（满量程）
3.零点漂移：≤0.05%FS/24h（恒温条件下）
4.响应时间：≤500ms（90%阶跃响应）
5.温度系数：≤0.01%FS/℃（-10℃至50℃）
检测范围
1.不锈钢/铝合金真空腔体密封性能验证
2.半导体ALD/PVD工艺反应腔真空监测
3.医用灭菌设备压力控制系统校准
4.高分子薄膜材料透气率测试
5.航天器推进系统氦质谱检漏配套
检测方法
ASTME2971-22《真空计校准标准方法》
ISO3567:2011《真空技术-电容薄膜规的校准》
GB/T34873-2017《电容薄膜真空计性能测试方法》
GB/T32212-2015《真空计与标准漏孔校准规范》
JJF1717-2018《电容薄膜真空计校准规范》
检测设备
1.INFICONCDG025D：量程110⁻⁴~1000mbar，精度0.15%读数
2.MKS925B微差压校准仪：分辨率0.001%FS
3.EdwardsSTP-3203涡轮分子泵组：极限真空510⁻⁷Pa
4.LeyboldDIVAC0.1数字压力控制器：控制精度0.05%FS
5.Agilent34461A六位半数字万用表：DCV基本精度0.0035%
6.Fluke726自动压力校准器：量程-100kPa~7MPa
7.VarianUHV-24N超高真空规管组：测量下限110⁻⁸Pa
8.BrooksSLA5850质量流量控制器：精度0.6%RD+0.1%FS
9.PfeifferTPG256A复合真空计：同时测量绝压和差压
10.TescomER5000电子压力调节器：调节分辨率0.001%FS