检测项目

1.真空度测量范围：110⁻⁵Pa至110Pa（绝对压力）

2.线性度误差：≤0.5%FS（满量程）

3.零点漂移：≤0.05%FS/24h（恒温条件下）

4.响应时间：≤500ms（90%阶跃响应）

5.温度系数：≤0.01%FS/℃（-10℃至50℃）

检测范围

1.不锈钢/铝合金真空腔体密封性能验证

2.半导体ALD/PVD工艺反应腔真空监测

3.医用灭菌设备压力控制系统校准

4.高分子薄膜材料透气率测试

5.航天器推进系统氦质谱检漏配套

检测方法

ASTME2971-22《真空计校准标准方法》

ISO3567:2011《真空技术-电容薄膜规的校准》

GB/T34873-2017《电容薄膜真空计性能测试方法》

GB/T32212-2015《真空计与标准漏孔校准规范》

JJF1717-2018《电容薄膜真空计校准规范》

检测设备

1.INFICONCDG025D：量程110⁻⁴~1000mbar，精度0.15%读数

2.MKS925B微差压校准仪：分辨率0.001%FS

3.EdwardsSTP-3203涡轮分子泵组：极限真空510⁻⁷Pa

4.LeyboldDIVAC0.1数字压力控制器：控制精度0.05%FS

5.Agilent34461A六位半数字万用表：DCV基本精度0.0035%

6.Fluke726自动压力校准器：量程-100kPa~7MPa

7.VarianUHV-24N超高真空规管组：测量下限110⁻⁸Pa

8.BrooksSLA5850质量流量控制器：精度0.6%RD+0.1%FS

9.PfeifferTPG256A复合真空计：同时测量绝压和差压

10.TescomER5000电子压力调节器：调节分辨率0.001%FS

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与隔膜真空计检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。