检测项目

1.曲率半径误差：采用干涉法测量主曲率偏差值（0.05mm）

2.中心厚度偏差：高精度测厚仪检测轴向厚度公差（0.01mm）

3.面形精度：PV值≤λ/4（@632.8nm），RMS≤λ/40

4.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶（全口径扫描）

5.透射波前畸变：动态干涉仪测量波前差≤0.1λ

检测范围

1.光学玻璃复透镜（H-K9L、ZF52等牌号）

2.树脂材料非球面透镜（PMMA、COC基材）

3.红外硫系玻璃透镜（Ge20As30Se50等组分）

4.微透镜阵列（单元尺寸50-500μm）

5.非球面-衍射混合透镜（台阶高度精度50nm）

检测方法

1.ISO10110-5:2015表面缺陷与气泡度分级

2.ASTME903-20紫外至红外波段透射率测试

3.GB/T7661-2009光学零件气泡度检验规程

4.ISO14999-4:2015干涉法面形测量规范

5.GB/T12085.6-2022光学系统环境试验方法

检测设备

1.ZYGOVerifireMST干涉仪：面形精度测量（λ/100重复精度）

2.MitutoyoCMM-11000坐标测量机：三维几何参数检测（0.8μm/m精度）

3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：200-2500nm透射率测试

4.TRIOPTicsOptiCentric双光路中心仪：偏心量测量（1"角度分辨率）

5.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：非球面母线轮廓测量（0.8nm纵向分辨率）

6.NikonMM-400测量显微镜：表面瑕疵分析（0.5μm成像分辨率）

7.FISBAμPhase干涉系统：微透镜阵列波前检测

8.SCHOTTK7折射率测试仪：材料均匀性分析（310⁻⁶精度）

9.OlympusSTM7测量显微镜：镀膜层厚度检验（5nm测量误差）

10.Keysight5500原子力显微镜：纳米级表面粗糙度测量