检测项目

1.面形精度：PV值≤λ/10（λ=632.8nm），RMS≤λ/50

2.曲率半径偏差：0.05%@R=50-500mm

3.表面粗糙度：Ra≤1nm（局部区域）

4.波前畸变：≤0.05λP-V值（透射模式）

5.透射波前误差：≤λ/4@Φ100mm

检测范围

1.光学玻璃：包括熔融石英、BK7等材质透镜与棱镜

2.晶体材料：氟化钙(CaF2)、硅(Si)等红外光学元件

3.金属反射镜：铝合金、铜基镀膜反射面

4.聚合物镜片：PMMA、PC材质非球面光学件

5.复合薄膜：AR/IR镀膜层表面平整度

检测方法

1.ASTME903-12：基于干涉法的光谱反射率测试规范

2.ISO10110-5:2015：光学元件面形公差测试标准

3.GB/T2831-2009：光学零件表面粗糙度测定方法

4.GB/T13323-2009：球面光学元件曲率半径测试规程

5.ISO14997:2012：光学表面缺陷定量分析方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST：Φ600mm大口径激光干涉仪，波长632.8nm

2.TaylorHobsonPGI1240：接触式轮廓仪，纵向分辨率0.1nm

3.BrukerContourGT-X3：白光干涉三维形貌仪，扫描速度50μm/s

4.TriopticsOptiSphericIFR：曲率半径测量仪，精度0.005%

5.MitutoyoSURFTESTSJ-410：表面粗糙度仪，评估长度0.25-12.5mm

6.4DTechnologyPhaseCam6000：动态干涉仪，振动抑制＞100Hz

7.NikonNEXIVVM-300：非接触式视频测量系统，重复精度0.3μm

8.Keysight5500ILM：激光干涉测长系统，线性分辨率0.1nm

9.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜，横向分辨率10nm

10.FisbaμPhase干涉探头：微型化光纤探头，适用Φ3mm以上曲面