检测项目

1.输出功率：测量连续/脉冲模式下的实际功率值（范围0.1mW-50kW），允许误差2%

2.波长稳定性：监测中心波长偏移量（0.5nm），光谱半高宽≤3nm

3.光束质量因子M：采用ISO11146标准测定（M≤1.3为优质基准）

4.发散角精度：全角测量误差≤0.1mrad

5.调制特性：分析上升/下降时间（ns级）、重复频率稳定性（0.01%）

检测范围

1.光纤激光器：掺镱/铒光纤器件（波长1064nm/1550nm）

2.半导体激光器：GaAs/GaN基器件（功率5mW-500W）

3.固体激光器：Nd:YAG晶体器件（脉宽6-30ns）

4.气体激光器：CO₂分子器件（波长10.6μm）

5.准分子激光器：ArF/KrF混合气体器件（波长193nm/248nm）

检测方法

1.ASTME1440-23：激光系统安全性能评估规程

2.ISO11146-1:2021：激光束宽度、发散角测试方法

3.GB/T15175-2012：固体激光器主要参数测试方法

4.IEC60825-1:2023：激光产品辐射安全分级标准

5.GB7247.1-2012：激光设备电磁兼容性测试规范

检测设备

1.YokogawaAQ6370D光谱分析仪（波长范围350-1750nm）

2.OphirPM320E热电堆功率计（量程20mW-120kW）

3.PrimesLBA-710PC光束质量分析仪（M测量精度3%）

4.TektronixDPO7254示波器（带宽2.5GHz）

5.Newport1918-C光衰减器（衰减范围0-60dB）

6.ThorlabsBEAMAGE-4M光斑分析仪（分辨率20482048）

7.KeysightN9030B频谱分析仪（频率范围3Hz-50GHz）

8.LabsphereLMS-7600积分球（直径750mm）

9.FlukeTi450红外热像仪（热灵敏度≤0.03℃）

10.Agilent34461A数字万用表（精度6位）