检测项目

1.面形精度：波长λ=632.8nm条件下RMS值≤λ/20（31.6nm），PV值≤λ/4

2.曲率半径：测量范围R=10mm-5000mm，公差0.1%

3.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超光滑表面），Rq≤0.6nm

4.透射波前畸变：Φ25mm有效口径内畸变量≤λ/10@633nm

5.镀膜均匀性：400-700nm波段反射率偏差≤2%

检测范围

1.光学玻璃：K9、熔融石英等材质平面/球面镜片

2.晶体材料：氟化钙(CaF2)、硅(Si)等红外光学元件

3.金属基底：铝、铜材质反射镜表面处理层

4.聚合物材料：PMMA、PC注塑非球面透镜

5.镀膜产品：AR增透膜、分光膜等光学薄膜器件

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件面形误差测试规范

2.ASTME903-12材料光谱反射率标准测试方法

3.GB/T7661-2009光学零件表面疵病检验方法

4.ISO14997:2012光学表面缺陷的干涉测量法

5.GB/T2831-2009光学零件曲率半径测试方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度0.5nmRMS

2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：纵向分辨率0.1nm，测量行程120mm

3.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：20X物镜NA=0.4，扫描速度50μm/s

4.TriopticsOptiSphericIFR曲率半径仪：测量精度0.01%，重复性0.005%

5.ShimadzuUV-3600分光光度计：波长范围185-3300nm，带宽0.1nm

6.OlympusMX63金相显微镜：500X放大倍率，LED环形照明系统

7.MitutoyoCMM三次元测量机：空间精度(1.9+L/250)μm，温度补偿0.1℃

8.Newport1835-C光功率计：波长范围400-1100nm，分辨率0.1nW

9.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量精度0.05dB@1550nm

10.KeysightN7788B光谱分析仪：分辨率0.02nm，动态范围70dB