检测项目

1. 泄漏率测试：灵敏度1×10⁻¹²~1×10⁻⁶ Pa·m³/s

2. 真空度保持：初始真空≤5×10⁻3 Pa

3. 温度循环测试：-65℃~+150℃交变试验

4. 压力衰减测试：测试压力0.1~2.0 MPa

5. 氦气回收率：≥95%回收效率

检测范围

1. 航空航天：燃料贮箱/航天器密封舱

2. 汽车工业：新能源电池包/燃料电池堆

3. 电子器件：MEMS封装/晶圆级封装

4. 医疗器械：植入式设备/血液透析器

5. 能源装备：核级阀门/LNG低温管道

检测方法

ASTM E499-2021《氦质谱泄漏检测标准》

ISO 20486:2017《泄漏检测系统校准规范》

GB/T 12604.7-2021《无损检测术语 泄漏检测》

GB/T 34528-2017《真空箱氦检漏方法》

ASME BPVC-VIII Div.1《压力容器建造规范》

检测设备

1. INFICON HLT560：四极杆质谱仪（分辨率0.5 AMU）

2. Leybold PHOENIX L300i：集成式检漏系统（最小可检漏率5×10⁻¹³ Pa·m³/s）

3. Agilent VS-Series：分子泵机组（极限真空5×10⁻⁷ mbar）

4. Edwards TIC系列：涡轮分子泵（抽速450 L/s）

5. Pfeiffer Vacuum ASM 340：全自动检漏台（测试周期＜30s）

6. Varian 979系列：氦回收系统（处理能力50 m³/h）

7. Canon ANELVA M-2000QA：多通道采集系统（同步监测16个工位）

8. Kurt J.Lesker KJLC 8000：高真空阀门组（漏率＜1×10⁻¹⁰ cc/s）

9. Shimadzu MS-QP2020NX：气相色谱联用系统（浓度分辨率0.1 ppm）

10. Edwards XDS35i：干式涡旋泵（无油真空环境保持）